中古 KLA / TENCOR P10 #293662984 を販売中

KLA / TENCOR P10
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P10
ID: 293662984
Profiler.
KLA/TENCOR P10は、半導体ウェーハおよびその他の基板を迅速かつ正確に測定および検査するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度な光学系、ハードウェア、ソフトウェアと統合されており、幅広いウェーハおよび基板上の自動測定、非接触計測、検査、欠陥ローカライズが可能です。このシステムは、高精度な測定が可能であり、膜厚、表面形状、粒度、組成など、さまざまな試験用途に構成することができます。KLA P-10は、高度な光学系を利用してウェーハや基板の画像をキャプチャします。3台のレーザーと3台の赤外線カメラを備えた双眼鏡イメージングユニットを採用し、ウェーハや基板の正確な3次元画像を取得します。この機械は、高さ、幅、深さ、表面プロファイル、膜厚など、画像からさまざまな測定値を迅速に評価および抽出することができます。その他の機能として、欠陥検出、線幅測定、オーバーレイ測定、およびフラットスペース検査(FSI)があります。TENCOR P 10は、タッチスクリーンインターフェイスを内蔵しており、ツールのプログラミングと制御に使いやすいインターフェースを提供します。タッチスクリーンを使用すると、テストレポートや結果にすばやくアクセスできます。また、オプションの自動ウェーハハンドリングモデルを搭載しているため、光学系を手動で再配置することなく、異なる基板を素早く切り替えることができます。TENCOR P10は非常に構成可能で、幅広いテストおよび計測ニーズに合わせてさまざまなパワー、スピード、解像度の設定をサポートします。また、高度なパターン認識機能を備えており、サブミクロン機能、汚染物質、その他の微妙な欠陥など、キャプチャが困難な機能に関する詳細なフィードバックを提供します。結論として、P 10は半導体ウェーハおよびその他の基板を迅速かつ正確に測定および検査するために設計された高度なウェーハ試験および計測システムです。高度な光学系を搭載し、自動計測、非接触計測、検査、欠陥局在化のためのソフトウェアを備えています。このユニットは非常に構成可能で、幅広いテストおよび計測ニーズに合わせてさまざまなパワー、スピード、解像度の設定をサポートします。
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