中古 KLA / TENCOR P1 #9386653 を販売中

KLA/TENCOR P1は、KLA Corporationのウェーハテストおよび計測機器で、幅広いウェーハおよび基板に対して高度な精度測定と欠陥検出を提供するよう設計されています。光学顕微鏡と高解像度イメージング技術の両方を使用して、高精度サブミクロン測定を行います。ウエハサイズは2〜7。5インチ（50。8 mm〜190。5 mm）で、厚さは0。5〜9。5 mmです。このユニットは、明るいフィールドと暗いフィールド顕微鏡画像の両方を使用して、ウェーハ上の欠陥の寸法を検出して測定するように設計されています。これにより、粒子、傷、ピット、堆積材料などの非常に小さな欠陥を検出することができます。また、高解像度のイメージング機能を備えており、ウェーハのディープダイブ解析が可能です。この機能により、プロトタイピングと低イールドディフェクトの両方を検出して特徴付けることができます。このツールには、測定中にウェーハを保護するために設計されたウェーハホールド機構も装備されています。デジタルチルトステージを搭載しており、ウェーハの角度や欠陥を正確に測定することができます。また、パターン認識やオートメーションマクロなどの自動化機能も備えており、多数のウェーハを短時間で素早く正確に測定することができます。KLA P-1は、測定から収集されたデータをさらに分析および分析するために、多数の取得ソフトウェアと統合されています。この解析ソフトウェアは、3D表面特性評価、2D画像のマッピングとスキャン、欠陥解析のランピング、および欠陥密度とサイジングなどの高度な機能を提供します。データは、他のシステムで共有し、さらに分析するためにエクスポートすることもできます。このモデルは、大量のウエハサンプルを分析するために必要な総コストと時間を削減することができます。この機器には直感的なユーザーインターフェイスも装備されており、操作とナビゲーションが簡単に行えます。これにより、経験豊富なユーザーと新しいユーザーの両方が簡単にウェーハのテストと分析を実行できます。このユニットはまた、安全基準とプロトコルに準拠しており、測定が指定された安全限界内で行われるようにしています。全体として、TENCOR P 1は、基板やウェーハ上の欠陥やその他の表面特性を記録、マッピング、測定するための高精度で機能豊富なマシンです。高精度の測定と欠陥検出を目的として設計されており、大量のデータを正確かつ効率的に分析することができます。