中古 KLA / TENCOR P1 #9283641 を販売中

製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P1
ID: 9283641
Surface profiler.
KLA/TENCOR P1は、最新のマイクロエレクトロニクス工場のニーズを満たすように特別に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、さまざまな半導体ウェーハ技術に信頼性の高い精度測定結果を提供します。これは、ウェーハレベルで高速、正確、再現性のある結果を可能にする高度な照明および検出技術によって駆動されます。このユニットは、光学顕微鏡を組み合わせてウェーハの画像や測定を行うだけでなく、クアドラント検出器を使用して、ウェーハレベルのデータを高精度かつ詳細に提供します。KLA/TECNOR KLA P-1は、干渉計、回折、光学プロファイリング、画像処理、マルチモーダルスキャンなどのさまざまな検査技術を使用して、真に包括的な測定と分析を行います。このマシンは、510 nmの波長レーザービームと、正確な照明を提供し、影を排除する可変角度ウィンドウで調整可能な照明を備えています。高度な3Dプリサイトテクノロジーは、パターン照明プロセスの非均一性を補償し、結果の精度と再現性を確保します。TENCOR P 1は、ウェーハの厚さ、表面粗さ、ステップの高さ、平坦度を測定できる、独自の光学計測ツールも備えています。TENCOR/TECNOR TENCOR P1は、ウエハレベル測定のセットアップ時間を最小限に抑えます。さらに、KLA P1にはデュアルビューテクノロジーが搭載されており、x方向とy方向の両方でウェーハの画像取得と測定を同時に行うことができます。これは、高解像度のフィールド分解能を提供するモデルの特殊な分割開口機構によって有効になります。KLA/TENCOR P 1は、ウェーハレベルのテストと計測のための包括的で統一されたソリューションを提供します。独自のイメージングおよび計測技術により、正確で再現性のある結果が得られます。また、調節可能な照明とデュアルビュー機能により、この強力で効果的な試験装置に追加の利点が得られます。
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