中古 KLA / TENCOR P1 #293643497 を販売中

KLA/TENCOR P1は、次世代の自動ウェーハ試験および計測機器です。エンジニアリングの精度と測定精度、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと自動化されたプロセスを組み合わせ、今日の大量生産の要求に応えます。KLA P-1システムは、最大12インチのフルウェーハ処理が可能で、シングルウェーハとバッチモードの両方の動作をサポートします。TENCOR P 1ユニットは、それぞれに統合されたハードウェアコンポーネントを備えた最大3組の計測ヘッドモジュールを使用して、単一のプロセスセルを構成します。各モジュールには、最高レベルの精度と再現性を確保するための高度な光学および精密モーションコントロールシステムが含まれています。このマシンにはレーザーベースのオートフォーカスも装備されており、簡単で正確なセットアップとウェーハ平面との測定平面の高速アライメントを容易にします。ウェーハテストと計測プロセスは、特定のレシピにウェーハをロードすることから始まります。露出レベル、ターゲットフォーカス、測定平面、測定ポイントなどのパラメータがオペレータによって選択されます。オプティクスは、ウェーハの厚さ、幾何学的形状、欠陥、オーバーレイ、フォーカス、および地形を測定および検査します。このプロセスの結果は、ミクロン未満の精度でユーザーにリレーされます。正確な測定を行うために、KLA/TENCOR P 1ツールはKLA独自のTrue Angleテクノロジーを使用しています。この技術は、測定平面が常にウェーハ平面に垂直であることを保証することにより、測定誤差を低減し、結果の一貫性を向上させます。アセットには、オペレータを導き、ルーチン機能を簡素化するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスもあります。P 1には、包括的な制御機能とデータ収集機能も用意されています。統合されたマシンインテリジェンス（MI）プラットフォームは、統合されたモニタおよび制御機能を使用してウェーハテスト作業を監視します。MIプラットフォームは、オペレータがプロセスのどの段階でもリアルタイムで問題をトラブルシューティングするのにも役立ちます。全体として、TENCOR P1はパワフルで直感的で効率的なウェーハテストと計測モデルです。装置は、ユーザーに素早く転送される正確で一貫した測定を提供します。システム、技術、機能を組み合わせることで、コストに配慮した生産設備と大量生産設備の両方に最適です。