中古 KLA / TENCOR P1 #165277 を販売中
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販売された
KLA/TENCOR P1は、半導体ウェーハの精密かつ効率的な検査、テスト、分析を容易にする最先端のウェーハ試験および計測機器です。厚さ、電気抵抗、光反射率などのウェハ特性を含む幅広いウェハ特性を測定することができます。KLA P-1はモジュラーアーキテクチャで設計されており、スキャナやプローブなどのさまざまなコンポーネントをさまざまなウェハテストプロセスに統合できます。基本的なTENCOR P 1ユニットは、ダイやコンタクトパッドなどの2D要素のテストに合わせたP1-V (Vision)マシンです。TENCOR P1-G (GaDRS)ツールは、ディープトレンチや接続ビアなどの3D要素のテストに適しています。KLA P 1-AM (Array Measurement)アセットは、高いスループット要件を持つウェーハ試験プロセスに適しています。KLA P1プラットフォームのコア技術は、複数の波長にわたる自動マルチスペクトルイメージングに基づいた高解像度イメージング機能です。これにより、各ウエハを正確に分析および検査することができ、ダイナミックスキャンにより複数の領域を正確に測定し、高スループットで測定することができます。さらに、P-1プラットフォームはギガピクセルイメージングを提供し、あらゆるアレイ測定アプリケーションの産業レベルの解像度をサポートします。さまざまな光源をプラットフォームに組み込むことで、2D検査から立体視までのアプリケーションをサポートできます。P 1モデルには、データ取得、分析、レポート作成のための高度なソフトウェアも搭載されています。TENCOR P-1ソフトウェアは、ウェーハの選択、取り扱い、分析に最大限の柔軟性を提供します。自動化、データベース管理、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)、イメージアーカイブ機能など、多くの組み込み機能により、高スループット操作が可能です。最大の効率と精度を確保するために、KLA/TENCOR P-1装置は、デバイス設定の制御、維持、調整のための内蔵センサとクローズドループ・フィードによってサポートされています。品質管理と校正プロセスを簡単に実装できます。また、複数のプローブや機器を接続することも可能で、同じウェーハのさまざまな部品を測定しながら簡単に並列処理を行うことができます。全体として、KLA/TENCOR P 1プラットフォームは、半導体業界の試験および計測ニーズに対応する強力で信頼性の高いユニットです。高解像度のイメージング、強力なソフトウェア、自動化されたセンサーにより、効率的で正確で信頼性の高い測定が可能です。モジュール設計は、統合の容易さ、費用対効果、およびスケーラビリティのためにも魅力的な機能です。
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