中古 KLA / TENCOR P-7 #293665117 を販売中

KLA/TENCOR P-7は、半導体部品の製造に使用するために開発されたウェハテストおよび計測機器です。プロセス制御と歩留まりを最適化するために、ウェーハの高精度な解析を提供します。KLA P-7は、高解像度イメージングとウェーハ測定および欠陥検査のための強力な計測機能を組み合わせています。システムは、柔軟な構成を可能にするモジュラー設計を備えており、ユーザーは自分の仕様やニーズに最も適したユニットを構築することができます。モーターとコントローラにより、モーションコントロールの精度が向上し、測定の再現性が向上します。また、ウェーハレベルの自動テストにより、早期プロセスの問題を検出することもできます。TENCOR P 7は、sCMOSやTDIなどのさまざまなCCD検出器を含むイメージング機能の向上に加え、暗視野、明視野、差動干渉コントラスト（DIC）、ノマルスキなどのさまざまな照明オプションも提供します。これらのオプションを組み合わせることで、微妙な光学現象の検出精度を高めることができます。ウェーハ上のパターンを正確に測定するために、P-7はまた、5nmまでの重要な特徴を測定することができる高性能の高分解能測定機能を備えています。これにより、パターンピッチ、重要寸法、およびデバイスのパフォーマンスと信頼性を保証するその他の機能を正確に測定できます。P 7はまた、ウエハ測定および欠陥検査のための最も包括的なツールのセットを提供するために、特殊なセンサー、スコープ、分光、および特殊な計測モジュールの組み合わせを提供しています。この技術の組み合わせにより、ユーザーは正確なウエハテストと分析のための完全なソリューションを提供します。全体として、KLA P 7は、半導体デバイスのプロセス制御、歩留まり、および性能を最適化するように設計された、強力で汎用性の高いウェーハ試験および計測機を提供します。イメージング、計測、特殊センサーとスコープの組み合わせにより、ユーザーはウェーハを正確に測定および検査できるツールを簡単に構成できます。