中古 KLA / TENCOR P-7 #293632302 を販売中

製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P-7
ID: 293632302
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR P-7は、高度な半導体デバイス製造用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。包括的な計測スイートを提供し、オペレータは膜厚、線幅、オーバーレイ、トランジスタ性能などのオンウェーハパラメータを評価できます。統合された自動化された反復可能な方法により、迅速かつ非侵襲的な方法でウェーハ機能を正確に特徴付けることができます。KLA P-7は、高度な光学系とハードウェアで構築され、優れた解像度、速度、信頼性を提供します。この性能を実現するために、マルチチャネル多機能照明技術を使用して、ウェーハ表面の特徴を迅速かつ確実に測定および分析します。高解像度イメージングユニットは、自動的に欠陥を検出し、クリティカルな寸法を特徴付け、迅速な分析のためにFIBイメージングを行います。また、高精度で大型金型(300mm)を読み出すこともできます。同時に、このマシンは高度なパターンマッチングアルゴリズムを備えており、広い領域でのパターン認識とダイツマッチングをサポートしています。TENCOR P 7は、迅速かつ正確にデータを取得し、処理することができます。そのオンボードデータ処理アルゴリズムと数学関数は、かなりの再現性でデバイスのパフォーマンスを最適化するためのプロセスを分析し、識別することができます。このツールには、わかりやすい機能とメニューを備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も装備されています。さらに、温度安定性、精度、および制御を保証する高効率熱管理モデルを内蔵しています。これにより、ウェーハテストと測定において温度に関係なく最高の精度が保証されます。さらに、このソリューションは非常に耐障害性が高く、フェイルセーフであり、測定が安全で信頼性が高く正確であることを確認します。全体として、KLA/TENCOR P 7ウェーハ試験および計測機器は、高度な半導体デバイスの生産に最適です。統合ソリューション、効率的な熱管理、強力なデータ処理アルゴリズムにより、ウェーハ表面の特徴を迅速かつ正確に測定および分析するのに最適なツールです。
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