中古 KLA / TENCOR P-6 #9230786 を販売中
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ID: 9230786
ヴィンテージ: 2012
Stylus profiler
Standard range: Microhead 5 SR
Sample stage area, 6" diameter
Vertical range: 327 µm
Force range: 0.5 mg to 50 mg
Scan length: 150 mm
Z Range: 1 mm
Does not include PC
2012 vintage.
KLA/TENCOR P-6は、幅広いウェーハおよび基板の品質管理と性能を評価するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。包括的な機能と機能を備えており、最高水準のウェーハを確実に製造できます。KLA P-6システムは、直径6インチ(150mm)までのウェーハの高出力光学検査、測定、解析が可能で、製造工程の変化に対応できるウェーハハンドリングユニットを備えています。均一性、精度、再現性のために設計されており、手動操作と自動化された操作の両方を実行する機能を備えています。TENCOR P6マシンの統合光学試験技術は、高解像度イメージングと特殊光学レンズを使用して、欠陥や欠陥に関連する非均一性の表面を検査および分析します。また、マルチチャンネルメトロロジーツールを備えており、ウェーハ表面の測定範囲とさまざまなウェーハタイプの定量比較を可能にします。KLA/TENCOR P6アセットには、表面の欠陥や表面欠陥を検出するための自動視覚検査(AVI)モデルと、高度な粒子解析機能が含まれています。また、欠陥メトリクスの包括的なデータベースも含まれており、ウェーハの欠陥をすばやく特定して特定するために使用できます。P-6装置の高度な制御ソフトウェアは、使いやすさと信頼性のために設計されており、ユーザーがウェーハ製造プロセスの変更のための操作をカスタマイズすることができる柔軟なレシピベースのシステムを備えています。また、不適合が検出されたときにユーザーに警告する堅牢なアラームユニットも備えており、ウエハプロパティを簡単に分析できます。P6マシンは、自動化されたハンドリングとトランスポート、統合されたクリーンルーム、ウェーハレベルの操作の自動化、および統合された精密校正機能など、幅広い機能を備えています。また、任意のワークフローに合わせてカスタマイズされたソリューションを有効にするためのいくつかのオプションとアクセサリーが含まれています。全体として、KLA P6ウェーハテストおよび計測ツールは、ウェーハおよび基板を測定、テスト、検査するための包括的な機能と機能を提供する高度で洗練された資産です。これは、正確で反復可能で信頼性の高いウェーハテスト結果を必要とするメーカーや組織にとって理想的なソリューションです。
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