中古 KLA / TENCOR P-6 #293592892 を販売中

KLA/TENCOR P-6は、ハイエンド半導体生産アプリケーション向けに設計された次世代ウェーハ試験および計測システムです。この装置は、ウェーハの試験と測定のための最新技術を組み合わせており、高精度と高分解能の両方の結果を短いサイクル時間で提供します。このシステムは、Flash、 NOR、 NANDメモリ、ロジックおよびRFIC （Radiofrequency Integrated Circuits）など、多くの異なる半導体材料およびデバイスをプローブ、テスト、測定、分析することができます。構成制御、CCDベース、高解像度2D光学顕微鏡、自動化されたXYステージなど、いくつかのハードウェアコンポーネントを備えています。この顕微鏡には、Colibri 3200 F2 CCD検出器と高品質の目的が含まれており、人間工学に基づいたユーザーフレンドリーな環境を提供し、さまざまな材料やデバイスを迅速に検査および分析できます。このユニットには、さまざまな欠陥を識別するのに役立つ自動画像認識アルゴリズムのライブラリも付属しています。ウェハテストには、最先端のパラメトリックテストツールと完全な10ピンコンタクタが装備されています。テストアセットは、ミリ秒単位で高帯域幅の測定を実行できます。高速パターンプログラミングツールと統合された自動フォーカス、レベリングおよび製品分類ツールは、ロボット制御ウェハテストを提供します。このモデルには、対象領域の膜厚を詳細に分析するための統合された厚い通電フィルムストリップツールも含まれています。これにより、リアルタイムのインラインフィルム厚さ測定が可能になり、最適な結果が得られます。KLA P-6装置には、最大5つのモジュールに対応できる砲塔と、正確で再現性のある試験結果を保証するための校正装置が付属しています。オプトエレクトロニックケーブル制御システムにより、異なるLitho、 CMP、コンタクタ構成を自動的に切り替えることができ、サイクルタイムを短縮できます。TENCOR P6は、業界で最も先進的なウェーハテストおよび計測システムの1つです。その柔軟な設計、高精度、複合試験および計測機能により、ハイエンド半導体製造用途に最適です。