中古 KLA / TENCOR P-170 #293800460 を販売中
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KLA/TENCOR P-170 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、ウェーハ、半導体、およびMEMSデバイスの正確で自動化された測定および分析を提供する高性能の計測プラットフォームです。KLA P-170は、ウェハ生産環境におけるデバイス特性を正確に分析するための高度な光学計測機能を備えています。デバイスの高度な非接触イメージングおよび解析を提供し、ウェーハ性能を測定および定量化する信頼性の高い方法を提供します。TENCOR P-170は、電動ウェーハステージ、統合された光学サブシステム、および簡単な操作とセットアップのための直感的なユーザーインターフェイスを備えています。電動ステージは、ウェーハを一連の位置に正確かつ正確に移動させ、ウェーハ上のすべての平らな領域を分析することができます。光サブシステムは、ステージが移動する際にウェーハ上の最小の特徴を検出できる高解像度カメラで構成され、ウェーハの地形の詳細なイメージを作成します。直感的なユーザーインターフェイスにより、簡単なワークフローのための迅速なセットアップとデータ入力が可能です。P-170には、高精度な位置決めと、アクセス困難な領域のスペーサアライメント機能も備わっています。KLA/TENCOR P-170は、CDやオーバーレイなどの半導体製造で一般的に使用される重要なパラメータなど、幅広い機能を測定できます。このシステムは、サブナノメートルの精度でデバイスの寸法を測定するだけでなく、フラットな面積特性を測定することができ、製造プロセスにおける不適合の可能性を迅速に特定することができます。KLA P-170はまた、効率的な自動選別とデバイスのマッピングを可能にし、生産ラインでのウェーハの分析プロセスを簡素化します。自動生産環境の場合、TENCOR P-170はAutoFocusなどの高度な機能を提供し、35秒以内にCDやコンポジションを連続測定できます。また、高速インデックスと地形補正機能を備えており、測定のすべてにおいて最高の均一性と精度を保証します。さらに、P-170は生産ラインの他のツールや部品と統合する柔軟性を提供し、プロセスを合理化します。全体として、KLA/TENCOR P-170 Wafer Testing and Metrology Machineはオールインワンソリューションであり、ウェーハ、半導体、およびMEMSデバイスを迅速かつ正確に再現可能に解析できます。KLA P-170は、高度な計測機能、高精度の測定、直感的なユーザーインターフェース、高度なオートメーションにより、生産環境におけるウェーハの正確で効率的な分析方法を提供します。
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