中古 KLA / TENCOR Optiprobe 3260 #9269305 を販売中
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KLA/TENCOR Optiprobe 3260は、高度な品質とプロセス制御のために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA Optiprobe 3260は、表面トポグラフィ、マイクロ欠陥、および自動欠陥分類などのウエハーパラメータの配列をサポートしています。TENCOR Optiprobe 3260は、スキャンプローブ顕微鏡を使用してウェーハの表面トポロジを測定します。このシステムには、直径5 μ m未満の粒子を検出できるシャッターセンサーが含まれています。光学顕微鏡を使用することで、ウェハの微小欠陥や損傷を検査することができます。また、高解像度イメージスキャンおよび解析用の高度な光学系も搭載しています。Optiprobe 3260は、高精度検査を使用して幅広いパターンを検査する優れたプローブツールを備えています。この資産には、独自のDDC (Digital Defect Classification)アルゴリズムもあり、特定された欠陥をサイズと形状に応じて自動的に分類し、高度なプロセス制御を可能にします。さらに、KLA/TENCOR Optiprobe 3260は、ウエハのオーバーレイ精度を正確に測定する独自のオーバーレイモデルを備えています。KLA Optiprobe 3260には、誤報を大幅に低減し、テストサイクル時間を短縮するための高度なパターン認識および欠陥低減技術が含まれています。また、この装置には自動テスターソフトウェアが搭載されており、製造業者はテストを迅速にプログラムして実行し、可能な限り最高の結果を得ることができます。ハイスループット生産のために、TENCOR Optiprobe 3260は高速トグルセンサーを備えており、製造メーカーはハイスループット条件でも品質とスループットを維持できます。さらに、高度なデータ分析とレポート機能を備え、テストサイクル中のウェーハの正確な比較を可能にし、さらに自動化されたプロセス制御を可能にします。Optiprobe 3260のデータ分析およびレポート機能には、ウェーハをインデックス化および比較する機能、歩留まりおよびプロセス効率の指標を確認する機能が含まれます。ユニットはまた、顧客の特定のニーズに合わせたカスタムレポートを提供します。KLA/TENCOR Optiprobe 3260は、ウェーハテストと計測の最高水準を満たしています。高度なハードウェア、独自のアルゴリズム、堅牢なデータ分析/レポート機能のユニークな組み合わせにより、製造メーカはクラス最高のパフォーマンス試験と最適化を受けることができます。
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