中古 KLA / TENCOR M-Gauge 200 #200432 を販売中

KLA/TENCOR M-Gauge 200は、正確で再現性のあるウェーハ測定用に設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。KLA M-Gauge 200は、最高のKLAシステムと最新の計測技術を組み合わせ、最高レベルの精度と再現性を保証します。このシステムには、200mm、 30メガピクセル、ビデオ検査ヘッド、および最大200ナノメートルの機能を測定できるマルチセンサー計測ユニットが含まれています。このマシンは、ウェーハの速度を最大で毎時80ウェーハまで測定することができ、正確な測定とデータ損失を防止する冗長機能を備えています。このツールは、デュアルビームレーザー干渉計を使用して、高速で正確で歪みのない3D測定を実現し、干渉計の動的調整を可能にするコンピュータ化チューニングアセットを備えています。これにより、光路を素早く調整して最適な精度を得ることができます。このモデルはまた、精密アライメント装置を備えており、ウェーハが常に検査フィールドに正しく集中し、ウェーハまたはシステムコンポーネントのずれによって測定が歪むことはありません。TENCOR M-Gauge 200は、高いダイナミックレンジ検出器を備えており、大きな特徴から小さいまでの正確な測定を実現し、最大200ナノメートルの特性を測定することができます。このユニットには、最高のスキャン速度でも超高精度で視野全体をスキャンできる光学ビームステアリングも含まれています。これにより、高密度ウェーハを含む最も複雑な形状や特徴を正確に測定することができます。M-Gauge 200は、精度と信頼性のために構築され、データ損失を避けるために複数の内部冗長機能を備えています。このツールはまた、ユーザーが測定の精度を検証し、資産のパフォーマンスを監視するプロセスを自動化することができるプロセス制御機能を備えています。KLA/TENCOR M-Gauge 200は、要求の厳しいウェハテストおよび計測アプリケーションに最適です。高度な機能と高精度の測定により、精度と再現性が保証されます。また、プロセス制御機能により、テストおよび計測手順を最適化および自動化できます。