中古 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293830692 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300は、高度な技術の利点を提供する高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最高の2つのイメージング技術と、光学および散乱ベースのスキャン技術を組み合わせた高スループット計測の利点を組み合わせています。光学イメージング技術により、最大3000倍のズームレベルでウェーハを高解像度でイメージングできます。また、光散乱技術と高スループット計測を組み合わせ、従来の光検査では検出できなかった機能を含むウエハイメージをフルに提供し、故障源の詳細な解析を可能にし、プロセス復旧時間の短縮に貢献します。KLA M-Gage 300で使用されている散布技術は、わずか0。5ミクロンの欠陥カバレッジ率を可能にします。このウェーハ試験および計測方法は、1時間あたり10kウェーハの高いスループットを提供し、他のシステムと比較してサイクル時間を大幅に短縮します。TENCOR M-Gage 300の技術は、複数の種類の検査と特性評価も可能です。高解像度のイメージング技術と散乱技術を組み合わせることで、エピレイヤーの欠陥を検出し、膜厚を測定し、電気的な試験と特性評価を行うことができます。その他のアプリケーションには、欠陥および漏洩位置、酸化ゲート評価、ゲート存在および電気接触評価、およびローカルおよびグローバルウェーハ表面分析が含まれます。M-Gage 300の高度な技術は、一連の非球面レンズとテレセントリックレンズと20Xマクロフォーカスレンズを組み合わせた光学系によってさらに証明され、優れた画像キャプチャ機能を提供します。照明ツールは、均一な照明と低加熱を提供するスキャン亜鉛メトリックミラーを備えたGen6キヤノン光源を備えています。アセットには、3000Xのズーム倍率で0。2ミクロンの再現性を提供するAccuScale、およびサブピクセル精度のデータも搭載しています。PROMETRIX M-Gage 300の機能は、高解像度イメージング、高スループット計測、および幅広いテストオプションを提供し、効率的なウェーハテストと計測のための強力なツールです。