中古 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293747954 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300は、薄膜およびデバイスの高度な解析において前例のない精度と精度を提供するように設計された画期的なウェーハ試験および計測機器です。高性能システムには、専用の計測ツールと独自のプロセッサという2つの主要コンポーネントがあります。測定ツールは、高度な信号処理により、シート抵抗、膜厚、反射率などのパラメータを測定し、ウェーハ表面の正確な機能解析を提供します。専用プロセッサは、独自の光学イメージング技術tocorrectを使用してアルゴリズムを実装し、ダイナミックバリエーションと統合された自動校正により正確な結果を得ることができます。ユニットの中心には、欠陥を検出し、薄膜やアクティブデバイスの特定の特性を測定するためにリアルタイム光学解析を使用する高度なイメージング技術があります。この装置は楕円計を使用してウェーハサンプルの反射率と透過率を同時に測定し、欠陥の有無を正確に特定し、シート抵抗、膜厚、面粗さなどの物理パラメータを測定することができます。測定は、プロセッサが正確にデータを分析することを可能にする統合されたUSBポートを介して処理ユニットに送信されます。このアセットには、動作環境に関係なく、正確で一貫した結果を保証する自動キャリブレーションも備えています。キャリブレーションモードを使用すると、カスタムパラメータを設定してモデルをキャリブレーションし、同じような環境で同じ結果を得ることができます。この機能により、ラボは使用するたびに機器の校正と再構成にかかる時間と労力を削減できます。KLA M-Gage 300のもう1つの印象的な特徴は、最新の機能と技術を利用して簡単にアップグレードできることです。システムにはファームウェアが内蔵されており、最新バージョンのソフトウェアを使用してシステムを簡単にアップグレードできます。全体として、TENCOR M-Gage 300ユニットは、薄膜やデバイスの高度な解析において、これまでにない精度と精度をユーザーに提供する貴重なツールです。統合された自動校正により、高性能な測定と分析を提供し、ユーザーが同様の環境で一貫した結果を達成できるようにします。このマシンはアップグレードも簡単で、ユーザーは最新の機能と技術の恩恵を受けることができます。
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