中古 KLA / TENCOR M-Gage 200 #293749861 を販売中

KLA/TENCOR M-Gage 200（モデル200）は、マイクロプロセッサ、フラットパネルディスプレイ、および高度なメモリデバイス技術のためにウェーハを処理および測定する、自動化された高度なウェーハ試験および計測機器です。200モデルは、生産要件と製品の認定要件をサポートするように設計された包括的な一連のテストを提供します。それは酸化物、窒化物、誘電体およびポリシリコンのような高度材料とケイ素およびポリイミドフィルムから成っているそれらを含むいろいろなウェーハをテストできます。また、CMP（高度な化学機械平面化）プロセスを含む、一般的に使用されるすべての平面化材料および手順について、表面/フィルムの自動評価を可能にします。KLA M-Gage 200モデルは、完全なウェハマッピングを提供し、完全なリアルタイム品質情報を表示するためにインターフェイスされた高精細カラーグラフィックユーザーを使用します。このユニットは、表面面積全体を正確にカバーするために多方向プロービングを使用しており、ウェーハ表面を個々のグラフィックマップの助けを借りて表示および検査することができ、製造元の仕様と確立された「既知の良い」グラフィックマップの両方と比較することができます。さらに、TENCOR M-Gage 200マシンは、パラメトリック分析、ダイレクトウェーハビニング、メトロロジーデータアグリゲーション（MDA）などの高度な測定ツールを提供し、プロセスの重要な材料/プロセスパラメータを時間の経過とともに識別、関連付け、追跡します。さらに、堅牢な高精細画像（HDI）とフォトメトリック画像処理機能により、ウェーハ表面の高解像度検査やレビューに最適です。このツールのデータは安全に保管され、保護され、プロセス関連情報の継続的なプロセス制御とトレーサビリティを維持します。これは歩留まりと製品の性能を確保するのに役立ちます。このアセットには高度なプログラミング機能もあり、エンジニアはウェーハテストと関連する分析をカスタマイズし、テーブルパラメータをカスタマイズし、レシピを定義し、新しいテストオペレーションをプログラムして変更された要件に対応することができます。全体として、M-Gage 200 （Model 200）は、生産要件と製品認定要件をサポートするように設計された包括的な一連のテストを提供します。さまざまな材料で動作し、正確なリアルタイム結果を提供し、堅牢な画像処理機能を持ち、プロセス制御とトレーサビリティを維持するために非常に安全です。KLA/TENCOR M-Gage 200モデルは、技術進歩のための不可欠なツールであることを約束します。