中古 KLA / TENCOR / INSPEX Eagle #293616824 を販売中

KLA/TENCOR/INSPEX Eagleは、半導体デバイスの電気的、物理的、光学的特性を測定するために設計された包括的なウェーハ試験および計測機器です。KLA Eagleは、高度な分析機能を備えたウェーハの2Dおよび3D画像を処理できるモジュラー型でスケーラブルなプラットフォームです。このシステムには、ウェーハマッピングモジュールが内蔵されており、ユーザーは興味のある機能をすばやく正確に見つけることができます。さらに、TENCOR Eagleは、微細構造パターンの不規則性を検出および分析し、極端な均一性の問題を検出できる統合検査ツールを備えています。イーグルは、画像のスペクトル分析と3Dイメージングの両方を提供するさまざまな強力なイメージング技術を組み込んでいます。単波長イメージング、紫外線イメージング、デュアル波長イメージングが可能で、反射光データと透過光データの両方に対応し、1つのパッケージで最大の性能を発揮します。INSPEX Eagleは、オートフォーカスおよびセミオートウェーハハンドリングソフトウェアとハードウェアを組み合わせて、測定が正確に完了するようにし、動的極端近接フォーカス（EPF）とドライブインプラットフォームを備えています。これにより、高度なデータキャプチャ、柔軟なイメージング、および画像解析機能が保証されます。KLA/TENCOR/INSPEX Eagleはまた、イメージングと計測光学レンズとフィルターを組み込んだ最先端の光学設計を体現しており、1つのプラットフォームで計測とイメージングを再構成することなく行える。さらに、KLA Eagleは高度にカスタマイズできるように設計されており、ユーザーは最も正確な結果を決定するために、スポットサイズやオートフォーカス設定など、ユニットのさまざまな機能設定を変更することができます。さらに、TENCOR Eagleは予測メンテナンス分析とソフトウェア制御のウェハローディングとアンロードを提供します。全体として、Eagleは、半導体業界の幅広いイメージング、テスト、計測アプリケーションに適した強力で汎用性の高いマシンです。INSPEX Eagleは、高度な光学設計、自動フォーカシングおよびウェーハ処理、およびスペクトルイメージングおよび分析機能を備えており、最も要求の厳しいアプリケーションに対して高度に自動化された正確な測定を提供します。