中古 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9376001 を販売中

KLA/TENCOR/ICOS T830は、ウェーハ生産の全体的な効率と精度を向上させるために設計された画期的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、特許出願中の計測および試験技術を使用して、最高レベルの品質と均一性を確保するために、正確で信頼性の高い結果を提供します。ユニットはいくつかのコンポーネントで構成されており、すべてが協力して、任意のウエハの状態に関する包括的で正確なビューを提供します。これらのコンポーネントには、サンプルステージ、ポジショナー、モーションコントロールモジュール、さまざまなセンサー、およびリアルタイム分析と修復を可能にする洗練されたソフトウェアパッケージが含まれます。KLA T830のサンプルステージは、すべてのテストと測定のための主要なプラットフォームです。精密モーションコントロール技術を特長とし、自動センタリングとドットフェーシングにより、正確かつ再現性のあるウェーハ位置決めと光パターンスキャン操作を可能にします。これにより、任意の場所でのデータの一貫したサンプリングが可能になり、個々の欠陥を区別する機能も可能になります。ステージには、カメラ、レーザー干渉計、分光計など、さまざまな光学センサーが装備されています。これらのセンサは、高度なイメージング機能を可能にし、異なる材料の特性の詳細な可視化と特性評価を可能にします。ポジショナーは自動ウェハ操作を可能にするものです。複数のモーター、コントローラ、エンコーダ、アンプで構成されており、コンピュータでプログラムされたコマンドを介してウェーハを正確かつ再現可能に移動させることができます。これにより、手動操作の必要がなくなり、サンプルのスループットが向上し、より短い時間で多数のサンプルを検査することができます。ICOS T830のモーションコントロールモジュールは、ポジショナーの動きを監視および実行する責任があります。これらは、特別なプロセッサ、駆動ロジック、およびデジタル信号プロセッサで構成されています。これらのモジュールは、ウェーハの動きを正確に制御し、すべての測定とテストが正確かつ時間通りに実行されるようにすることができます。ソフトウェアパッケージは、マシンの意思決定コンポーネントです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と複数の強力な分析ツールを備えており、ウェーハ上に存在するあらゆる欠陥をリアルタイムで分析および修復できます。これにより、生産プロセスに関する情報に基づいた意思決定を行い、必要に応じて迅速に調整および最適化を行うことができます。さらに、ソフトウェアは他の一般的なデータ分析プラットフォームとシームレスに統合することができ、異なるシステム間で結果とデータを自動的に交換することができます。要するに、TENCOR T830は、生産プロセス中に高いレベルの精度と再現性を保証する画期的なウェーハテストおよび計測ツールです。正確なモーションコントロール機能、高度なイメージング機能、包括的なソフトウェアパッケージにより、ユーザーはウェーハに存在する欠陥をすばやく検出して修復できます。これにより、製品の品質と均一性が向上し、操作の全体的な効率が向上します。