中古 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9218718 を販売中
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販売された
ID: 9218718
ヴィンテージ: 2016
Fully automatic optical inspection system
Inspection stage 1: IVC-4000 Camera
Inspection stage 2 & 3: IVC-25K Light resolution camera (Front and rear)
2016 vintage.
KLA/TENCOR/ICOS T830 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体の歩留まり管理とプロセス開発の特性評価用に設計された高精度で高度なオートメーションソリューションです。高解像度カメラ、電動サンプルステージ、全自動基板ハンドリングユニットを搭載。この機械は、迅速なスループット、高精度な測定、結果の再現性と再現性を同時に提供することができます。さまざまな物性を獲得することで、ウェーハ特性を迅速かつ正確に測定することができます。このツールには、高解像度のデジタルイメージングと、高精度の複雑なエンジニアリング構造のビデオレートイメージング用の強化されたロジックおよび制御システムが装備されています。これは、SOI(シリコンオンインシュレーター)やBCB(ビスベンゾサイクロブテン)などの複雑な基板の信頼性の高い分析でオペレータを支援する統合パターン認識(PR)能力を持っています。このアセットは、分光イメージング、2Dおよび3D光学イメージング、散乱計、動的楕円計測などのさまざまな計測方法を使用して、さまざまな特性を測定します。パターニング特性評価、ウェーハダイ特性評価、欠陥部位および絶縁解析、ウェーハグリッドパリティ測定、デバイス指向評価に使用されます。解析および計測機能の統合により、このモデルは強力な機器レベルの歩留まり保証が可能です。PCB(プリント基板)検査、高精度イメージングを可能にする光学検査・計測機能を搭載しています。柔軟性、精度、スループットを向上させ、モジュール性と拡張性を備えて設計されています。その環境保護コンポーネントは、ユニットのパフォーマンスと安定性をさらに高め、費用対効果を提供します。このマシンは直感的でインタラクティブなソフトウェアプラットフォームと統合されており、レポートと分析を自動化して均一な精度測定を可能にします。そのタスク指向プログラミングは、機能認識のためのプロセスと分析の迅速なセットアップを可能にします。このツールは、資産の実装を容易にするさまざまなエンジニアリングおよびサービス支援アプリケーションでも提供されます。結論として、KLA T830 Wafer Testing and Metrology Modelは、半導体の歩留まり管理とプロセス開発のために特別に設計された高度なオートメーションソリューションです。高解像度カメラ、電動サンプルステージ、全自動基板処理装置を搭載しており、高速スループット、高精度測定、結果の再現性と再現性を同時に提供することができます。さらに、直感的でインタラクティブなソフトウェアプラットフォームと統合され、さまざまなエンジニアリングおよびサービスサポートアプリケーションで提供されます。
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