中古 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188785 を販売中

KLA/TENCOR/ICOS T830は、半導体製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このツールは、完全に統合されたプラットフォームでテスト、両面スキャン、およびインライン寸法計測を組み合わせています。このシステムは、光学ウェーハと電気ウェーハの両方のテスト機能をさまざまなデバイスのタイプに使用しており、信頼性と正確な結果をユーザーに提供します。KLA T830は、密閉された単段真空スキャンユニットを使用して、一度に2つのウェーハを処理します。ウェーハのサイズをすばやく変更できるため、スループットが向上します。また、片面および短いウェハ検査機能も備えています。ICOS T830は、専用の両面スキャン機能とともに、フロントとバックサイドの光学、電気、寸法測定の包括的なセットを提供します。専用の光学設計により、5倍の光学ツールT830使用して、直径24インチまでのウェーハの高解像度画像を得ることができます。このサイズでは、ピットや亀裂などの最小の特徴でさえ、高い詳細に見ることができます。このアセットはまた、ダイサーフェス全体にわたる欠陥カバレッジのために平面内イメージングを使用しており、大きな基板をテストおよび検査する際に欠陥が見逃されないようにします。TENCOR T830は、4点接触、非接触、オープンショート荷重試験、電流試験、およびその他のさまざまな電気パラメータ測定など、さまざまな電気試験オプションを提供します。複数の測定メカニズムを備えており、デバイスの分離と応力検出のための専用機器と組み合わせることができます。統合された寸法計測機能により、ダイサイズ、厚さ、トポロジー、および異なるウェーハ間の同じ2点のオフセットを測定できます。テストおよび測定機能に加えて、KLA/TENCOR/ICOS T830はデータ管理とレポート機能を統合しています。ツールによって記録されたすべてのシステムデータは、認証された担当者がアクセスできる安全なデータベースに保存されます。レポートはさまざまな形式で生成およびエクスポートでき、ユーザーは結果を確認および分析することができます。全体として、KLA T830は、半導体製造のコストと複雑さを削減しながら、信頼性の高い結果を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測モデルです。その高度な機能と機能は、業界にとって貴重なツールとなります。