中古 KLA / TENCOR HRP 350 #293793887 を販売中

ID: 293793887
ヴィンテージ: 2013
Profiler 2013 vintage.
KLA/TENCOR HRP 350は、高度な半導体ウェーハの効率的、正確、信頼性の高い製造を可能にする、正確な測定と自動データ取得を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA HRP 350は実験室の設定で使用するために設計されており、さまざまな機能と機能を提供します。トレイの自動処理システムを提供し、トレイあたり最大350ダイを測定できます。このツールは、4個の独立したプロセスチャンバーに接続することができ、スループットとスループット効率が大幅に向上します。このユニットは、ウェーハ表面の反射、吸収、伝送などの光学特性を測定する分光計とレーザー散乱計を使用しています。また、3次元高さマッピングを含む表面地形の測定にも光学プロフィロメータを使用しています。このツールは、アスペクト比1。5〜4。0の広範囲のダイサイズを測定できます。TENCOR HRP-350は、自動レシピ管理、リアルタイムデータロギング、データ分析ツールなど、さまざまな追加機能も提供しています。このマシンは完全に自動化され、自己学習するように設計されているため、エラーが少なくても高いスループットと生産性を実現できます。KLA HRP-350は、SEMI CPP-3040およびSEMI S2/S8規格に準拠しており、プロセスパラメータ、汚染物質、ストレス、微細構造など、さまざまなウェーハ計測パラメータを測定できます。このツールはKLA Multi-Tech Product Lineとも互換性があり、リモートコントロールや自動ウェハマッピングなどの高度な機能を提供します。HRP-350は信頼性が高く効率的なウェーハ試験および計測ツールであり、あらゆる半導体製造ラボに最適です。洗練された使いやすいインターフェースと組み合わせることで、ユーザーは最高レベルの生産性と精度を簡単に達成することができます。
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