中古 KLA / TENCOR HRP 340 #9400332 を販売中
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KLA/TENCOR HRP 340は、製造プロセス中に大口径ICおよびMEMSウェーハを高速かつ正確に非破壊的に試験するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学計測ユニットと組み合わされた高出力の超紫色レーザー光源を使用して、半導体ウェーハ上の微細構造の厚さ、平面平坦度、エッジの直線性などの物理的特性を正確に測定します。KLA HRP 340には高度な光学および検出器が搭載されており、測定情報を正確にキャプチャできます。機械は4。3メガピクセルレーザー干渉計から成っています;オートフォーカス/オートアライン機能、高度な光学測定技術「2次元プロファイル」、および自動パラメーター計算ツール。このアセットは、1〜8インチのICおよびMEMSウェーハの試験および測定用に特別に設計されており、必要な測定をすべて1分以内に完了することができます。TENCOR HRP 340は完全な欠陥検出機能を提供し、ピンホールやエッチング損傷などのさまざまなタイプの欠陥を検出することができます。このモデルはまた、高スループット機能を備えており、1時間あたり最大200個のウェーハを同時にテストおよび分析することができます。さらに、装置の自動化されたユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、セットアップと操作が簡単になり、測定結果に対するリアルタイムのフィードバックも提供できます。さらに、HRP 340には高度な検査、分析、レポート機能が搭載されています。このシステムは、検出できない欠陥やその他の非次元フィーチャーを識別して測定し、測定結果をオンボードメモリに保存することができます。さらに、ユーザーは、事前に定義された制限とテスト結果の即時比較を簡単に受け取ることができます。オプションの追加コンポーネントであるTDK Level 200は、ウェーハテストの一環として詳細な分析と完全な計測レポートを提供できます。全体として、KLA/TENCOR HRP 340は、半導体ウェハ上の微細構造の物理的特性を測定するために設計された、強力で高度なウェーハ試験および計測ユニットです。高いスループット能力、高速精度、自動設定およびレポート機能、高度な欠陥検出機能を備えたKLA HRP 340は、信頼性とコスト効率に優れたウェハテストソリューションを求めている半導体およびMEMSメーカーにとって理想的なソリューションです。
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