中古 KLA / TENCOR HRP 340 #9383060 を販売中

KLA/TENCOR HRP 340は、マイクロエレクトロニクス半導体ウェーハの平面パラメータと寸法パラメータを迅速かつ正確に測定できる自動ウェーハ試験および計測装置です。動的変数（幅、厚さ、表面トポロジーなど）の測定に適しており、様々な計測および電気アプリケーションを提供し、測定が非常に正確で信頼性の高いことを保証します。高度な画像処理技術とパターン認識技術を活用したシステムです。ステージ、サンプルホルダー、ウェハオリエンテーションステーション、ロータリーテーブル、高度なビジョン処理および測定アルゴリズムを備えています。測定プロセスを開始するために、機械はホームポジションに水平ステージを配置します。次に、オペレータはサンプルホルダーにウェーハを置き、手動で複数の方向付け位置のいずれかに移動します。ウェーハが配置され、適切に配向されると、回転テーブルが回転し、ウェーハを固定数の試験位置に自動的に調整します。各テストポジションで、このツールはウェーハの特徴を検出し、イメージングとフォースセンサー技術を組み合わせて平面と寸法の両方の特徴を測定します。アセットは、ウェーハを元の方向に戻して回転させ、次のウェーハを測定する段階を準備します。サイクルが完了すると、モデルは測定したデータをRAMまたは外部デバイスに保存して分析します。KLA HRP 340には、FSI （Forward Scatter Illumination）とTL （Through-the-Lens）の両方をFocus-in-Place （Focus-in-Place）を含む4つの加工ツールが搭載されています。フォーカスを正確に制御しながら、ウェーハ全体の特徴を検出できます。電極チップ角度（ETA）は、寸法プロファイルの評価に使用されるツールです。基板プロファイル（SP）ツールを使用して、ウェーハがステージ上にある間の垂直プロファイルを測定します。Total Thickness Tool （TTT）は、ウェーハ全体の厚さやその他の寸法パラメータを測定するように設計されています。TENCOR HRP 340は、堅牢で再現性のあるウェーハテストと計測を可能にし、製造工程全体で正確かつ生産性の高いプロセスを実現します。これは、大量の要件を満たし、コストを削減し、測定が最高品質の基準を満たすように設計されています。さらに、この装置は複数のウェーハとウェーハロットで同時に計測することができ、生産の効率とスピードがさらに向上します。