中古 KLA / TENCOR HRP 340 #293832322 を販売中

KLA/TENCOR HRP 340ウェーハ試験および計測機器は、信頼性の高いウェーハおよびデバイス性能の特性評価および分析を、比類のない精度と速度で提供する高度なツールです。サブナノメートルからサブミクロンまでのウェーハ特性を効果的に測定するように設計されています。このシステムは、高度な自動計測プラットフォームと堅牢な光学センシング技術で構成され、正確な測定を保証します。3軸構成から5軸構成まで、最大4つの交換可能な電動軸を備えているため、大量生産に最適です。このユニットには、強力で自動化された光学プリキャラクタライゼーション機能が装備されており、ウェーハの特徴をすばやく見つけて測定できます。その高精度の干渉計の光学系は、サブナノメートル分解能で測定することができます、その柔軟な電動校正機構は、環境やその他のオフセットを補償します。また、10分間で最大480個のウェーハをスキャンすることができるため、スループットを最適化するように設計されており、他の自動システムと比較して、ほぼすべての機能サイズと数量の組み合わせで競合スループットを備えています。KLA HRP 340は、包括的で自動化されたレポート機能を提供し、他の場所に簡単に共有またはエクスポートできる包括的なグラフと詳細なレポートを作成できます。ツールによって生成されたレポートは、統合ファイルに電子記録として保存され、その後、さらなる分析とレビューのために参照することができます。適切な動作と精度を確保するため、TENCOR HRP 340は自動ソフトウェアおよびハードウェア診断機能を備えています。また、お客様の定義されたテストレシピやカスタマイズされたテストレシピ、特殊なハードウェア統合などの機能のための無制限のオープンアーキテクチャ設計も備えています。その結果、HRP 340ウェーハテストおよび計測資産は、サブナノメートルからサブミクロンまでのウェーハ特性を正確に測定するための効果的で信頼性の高いツールです。包括的なレポート機能と自動診断機能により、最適化されたテストとレポートの品質と正確性が保証されます。