中古 KLA / TENCOR HRP 340 #293777442 を販売中

KLA/TENCOR HRP 340ウェーハテストおよび計測装置は、ウェーハのテストと測定に自動化され、正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されています。フルフィールドイメージング、フォトマスク欠陥計測、臨界寸法（CD）およびエッチング深度測定、オーバーエッチングCD解析、超高精度テレセントリック観測など、幅広い機能を備えています。KLA HRP 340には、25Xテレセントリックステレオ顕微鏡、6インチレーザー干渉計、および密閉された検査環境で最大4つのウェーハを同時にサポートできるモーター付きx、 y、 zステージが装備されています。ウェハテストユニットの最大ダイナミックレンジを提供し、可変倍率によりナノメートルレンジでの正確な測定が可能です。TENCOR HRP 340の中心には、その強力なイメージングと計測エンジンがあります。8方向の画像処理パイプラインを使用して、近赤外線（NIR）イメージングと測定機能を備えた複雑な欠陥を迅速に解析し、被写界深度を向上させます。これにより、HRP 340は、ピンホールや異粒子などのフォトマスク異常を迅速に分析し、接触穴、トレンチ、ラインエッジ粗さ（LER）などの複数の欠陥構造の寸法を特定して正確に測定することができます。このマシンの高度なソフトウェアには、輪郭、ラインプロファイル、アイソライン、平面性などのCD/クリティカル寸法測定ツールが含まれており、正確な測定を保証します。また、高解像度の自動パターンマッチングおよび異常検出機能を備えているため、粒子検出および高スループット測定に最適です。これらの機能に加えて、KLA/TENCOR HRP 340は、ワンクリックウェーハアライメントと回転補償機能を備えており、オペレータは貴重な時間やリソースを無駄にせず、迅速かつ正確にウェーハの再配置と測定を行うことができます。また、最適な画質を保証するオートフォーカスモジュールを搭載し、ずれのリスクを低減します。KLA HRP 340はSEMIおよびSEMI規格に準拠しており、半導体業界で3D表面プロファイルおよび線幅測定に使用されています。全体として、TENCOR HRP 340ウェーハテストおよび計測ツールは、自動ウェーハ検査に最適なソリューションであり、正確で信頼性の高いウェーハテストと測定に包括的で強力なソリューションを提供します。