中古 KLA / TENCOR HRP 340 #293762397 を販売中

KLA/TENCOR HRP 340は、生産現場の運用と研究開発を支援するために設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは高精度かつ高精度な測定を提供し、ユーザーはウェーハロットの特性を高度に把握し、プロセスの最適化と制御に必要なデータを提供することができます。KLA HRP 340には、高感度のひずみゲージトランスデューサと、ウエハバックの立体形状を測定するC軸段が装備されています。これにより、オペレータはウェーハ全体の形状、丸み、平坦度を1 µmの精度で測定することができます。また、オートフォーカスマシンを搭載し、± 3 µmの再現性で正確かつ再現性の高い測定を保証します。TENCOR HRP 340にはさまざまなソフトウェアツールとオプションが搭載されており、粒子サイズ、表面粗さ、汚染物質など、ウェーハ表面のさまざまな側面を正確に分析できます。このツールは、傷や粒子などの欠陥を検出してカウントすることもできます。これらのテストから生成されたデータを使用して、ウェハロットの品質を決定し、プロセスパラメータを最適化し、SPC制御チャートを開発することができます。HRP 340には自動キャリブレーション機能も搭載されており、さまざまなウェハサイズと条件に素早くアセットを設定できます。さらに、2種類のウェハテスト治具を使用することができ、複数のウェハテスト構成を可能にします。これにより、プロセス設定を迅速に最適化し、検査時間を最小限に抑えることができます。さらに、この機器にはレポート機能が搭載されており、オペレータはテスト結果を迅速に検証し、製品の品質を確認することができます。全体として、KLA/TENCOR HRP 340は、生産現場での迅速な作業を容易にし、正確かつ正確な測定を提供し、ユーザーが製品品質の問題を迅速に特定して分離できるように設計された優れたウェハテストおよび計測システムです。このユニットの堅牢なソフトウェア機能、厳格なテストプロトコル、自動校正機能により、高度なプロセス開発と制御に最適です。