中古 KLA / TENCOR HRP 340 #293601223 を販売中

KLA/TENCOR HRP 340は、高いスループット、高精度、および高分解能測定用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。ダイレベル、ウェーハレベル、サブダイレベルの測定に、高速で信頼性の高い測定結果を提供するように最適化されています。このシステムは、光学ユニット、高解像度イメージセンサー、および電気的パラメータと光学パラメータの両方を測定できる統合ソフトウェアパッケージを備えています。8〜300mmの基板に対応可能で、迅速なキャリブレーションと優れた計測再現性を提供します。KLA HRP 340は、正確で再現性のある測定を保証するために、多くの光学部品、電気部品、デジタル部品を組み込んでいます。光学ツールには、高度な高解像度カメラ、高感度CCDカメラ、高解像度画像を得るためのデジタル顕微鏡が含まれています。この資産には、充電器を完全に自動化した放電器がさらに装備されているため、頻繁な校正が不要です。また、ウェーハの自動アライメントと位置決めをテストするためのステージも統合されています。この機器は手動および自動の両方のテストを可能にし、ウェハレベルのテストツール、チップレベルおよびモジュールレベルのテストツール、データ駆動解析ソフトウェアなど、包括的なソフトウェアを備えています。このソフトウェアは、ドーパントプロファイリングや不純物分析などの電気パラメータ、および表面粗さや屈折率などの光学パラメータのテストを可能にします。データ駆動ソフトウェアは、ウェハレベルのマクロおよびマイクロ欠陥検査も提供できます。TENCOR HRP 340はまた、高精度の測定結果を提供するためにデュアルサイドメトロロジーシステムを備えています。ユニットには、ユニピクセル光学センサー、デュアルチャネルCCDセンサー、レーザー位置センサーが含まれています。光学センサは、表面粗さ、粒度、表面の質感、線幅を正確に測定します。このデュアルチャネルCCDセンサは、線幅、線幅分散、エッジ配置誤差、オーバーレイ精度を正確に測定します。レーザー位置センサは、サブミクロメータ測定の正確な分解能を提供します。全体的に、HRP 340は、信頼性の高い正確なウェーハレベル測定を提供するように設計された高度なウェーハテストおよび計測機です。このツールは、光学部品、電気部品、およびデジタル部品を組み合わせて、正確なダイとサブダイのレベル測定を可能にします。このアセットには、ダイレベル、ウェーハレベル、サブダイヤレベルのテスト用の強力なソフトウェアと、高精度の計測測定用のデュアルサイドメトロロジーモデルも搭載されています。これらの機能を備えたKLA/TENCOR HRP 340は、ウェハテストと計測に最適な機器です。