中古 KLA / TENCOR HRP 260 #293628462 を販売中

KLA/TENCOR HRP 260は、光学計測と画像解析を利用して、ウェーハ形状、ウェーハ厚、半導体ウェーハの表面トポグラフィを正確かつ正確に測定するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、測定ヘッド、光学整列テストツール、および統合されたサーマルゾーン絶縁を備えた自動XYモーターステージなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントは、優れた精度と再現性でデバイスの特性を測定するために協力しています。ユニットの中心は、専用のRGB照明、複数の目的と複数の運動軸を組み合わせた統合された光学整列テストツールにあります。テストツールは、ウェーハ表面トポロジ、ウェーハ厚さ、ウェーハ平坦度、ウェーハ平坦度、ウェーハセンター位置、デバイスレベル平坦度を迅速かつ正確に測定できます。テストツールは、直径200mmから300mmまでのさまざまなウェーハを測定することができ、1つのウェーハで最大200の機能を自動測定することができます。光学整列テストツールに加えて、KLA HRP 260には、サーマルゾーン絶縁を内蔵した自動XYモーターステージも含まれています。このステージは、テストツールの運動軸をサポートするだけでなく、サーマルドリフトや振動からの保護を提供するように設計されています。TENCOR HRP 260は、包括的な測定機能をユーザーに提供します。オープンループとクローズドループの自動測定に対応し、各ウェハの表面トポロジ、センターオフセット、平坦度を同時に測定できます。従来の光学技術とレーザーベースの技術を組み合わせることで、最高の精度と精度を提供することができます。このツールには、収集したすべてのデータをリアルタイムで収集および保存し、それをオンボード処理ユニットに転送するリアルタイムデータ収集モジュールが装備されています。このユニットは、データを分析し、コンプライアンスを確保し、問題を特定するために使用されるさまざまなレポートを生成する責任があります。HRP 260は、測定結果に簡単にアクセスできるシンプルなユーザーインターフェイスを備えており、資産パフォーマンスを迅速かつ簡単に監視できます。全体として、KLA/TENCOR HRP 260は、半導体ウェーハの特性を測定する際に精度と精度を提供する光学計測技術と画像解析技術を利用した高度なウェーハ試験および計測モデルです。この機器は、オープンループおよびクローズドループの自動測定をサポートし、リアルタイムでデータを収集し、規制遵守とパフォーマンス監視のためにいくつかの異なるタイプのレポートを生成します。