中古 KLA / TENCOR FX 200 #9353225 を販売中

KLA / TENCOR FX 200
ID: 9353225
Inspection system.
KLA/TENCOR FX 200は、ウェーハテストと計測に焦点を当てた装置です。幅広い統合表面分析技術を組み合わせ、ウェーハレベルのアプリケーション向けに高いスループットと信頼性の高い計測を提供します。堅牢で信頼性の高い設計により、高いスループット動作と、ウェーハのテストと検査の効率が向上します。KLA FX 200システムには、原子力顕微鏡と楕円測定の2つの相補的統合表面解析技術と、特許取得済みの3Dイメージングユニットの3つの主要コンポーネントが含まれています。また、高度なスキャン技術と、常に変化する半導体産業のニーズを満たすためのユーザー設定可能な計測方法のライブラリも含まれています。その光検出機能は利用できる最先端のの間にあります;TENCOR FX200マシンは、ウェーハ基板の上下および側面の両方の画像をキャプチャすることができます。特殊なイメージングモードにより、高精度で正確な測定が保証されます。これは、大量のオペレーションを成功させるために不可欠です。楕円測定モジュールは、可能な限り最も正確な反射率の値を得るための優れた性能を提供し、このツールは、複数のタイプの材料を使用した層の高速測定を保証します。原子力顕微鏡モジュールは、ウェハ製造時の表面粗さを効果的に測定するために使用されます。その高度な校正方法は、滑らかなサーフェスを確保するために不可欠な高精度の3Dサーフェスプロファイルを提供します。この資産の強力なデータ分析ツールは、スキャンされたデータの効率的な評価を可能にします。これらのツールは、サーフェスプロパティをすばやく確認するための使いやすいインターフェイスを提供します。さらに、TENCOR FX 200モデルは手動操作と自動運転の両方をサポートしているため、必要に応じて2つの異なる処理モードを切り替えることができます。結論として、KLA FX200は、高精度の測定機能を提供する主要なウェーハテストおよび計測機器です。オートメーション用に設計されているため、信頼性と精度を高めた大量生産設定で使用できます。その最先端の技術と強力なデータ分析ツールは、計算結果が信頼性と正確性の両方であることを保証します。
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