中古 KLA / TENCOR FX 200 #293628442 を販売中

KLA/TENCOR FX 200は、半導体製造および検査に使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA FX 200は、特許出願中の光学イメージングシステム上に構築されており、レーザー、顕微鏡、高度な光学系を使用して、ナノメートルスケールまで計測タスクが可能な集中イメージングユニットを作成します。この機械は、高解像度のイメージング、基板上の試験構造の測定および位置決めのための4つのチャネルを備えており、オーバーレイ、高さ、平坦度、形状試験などの高度な特性評価のためのさまざまな測定技術をサポートしています。TENCOR FX200ツールは、高精度、高解像度、およびスループットを維持しながら、チップ上の20nmまでの特徴を測定することができます。フォトミクロスコピー、干渉計、地形、散乱計などの高解像度イメージング技術を統合し、ウェーハや基板材料を分析します。この光学イメージング、レーザーベースの計測、および精密リソグラフィ可能な位置決めを組み合わせることで、アセットはさまざまなパターン、形状、向き、サイズで10nmの小さい特徴を正確に測定することができます。FX 200には、フォーカス、倍率、ツール解像度、検出範囲など、寸法計測に使用されるパラメータを正確に測定および調整できる自動校正モデルも含まれています。この校正装置は、高速スループットで高精度な測定を行うために最適化されています。さらに、自動基板処理システムにより、ウェーハ基板を素早く簡単に転送できます。KLA/TENCOR FX200はまた、チップの検査、測定、レポート作成に役立つように設計された専用のソフトウェアアプリケーションも提供しています。これらのアプリケーションは、高精度とトレーサビリティで予測された結果を提供します。これは、ユーザーが独自のアプリケーションのインストゥルメント構成を調整できるカスタマイズ可能なユーザーインターフェイスなど、いくつかの機能のおかげで可能です。このユニットには、計測器のユーザーインターフェイスにあるデータ入力および管理ツールも含まれており、計測データの収集と取得を簡素化します。全体として、KLA FX200ウェーハ試験および計測機械は、ナノメートルスケールまで測定可能な信頼性の高い正確な計測ツールです。TENCOR FX 200は、自動校正および基板処理システム、ならびにその特殊なソフトウェアアプリケーションにより、半導体製造および検査業界向けの強力で汎用性の高いツールとなります。