中古 KLA / TENCOR FX 100 #9240150 を販売中
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ID: 9240150
ヴィンテージ: 2005
Thickness measurement system
Module: EFEM
Missing PC
2005 vintage.
KLA/TENCOR FX 100は、半導体材料の精密な測定を行うために設計された、最先端の計測およびウェーハ試験装置です。このシステムは、ウェーハテストと計測に最も正確な結果を提供するための高度な技術を提供します。KLA FX 100は、半導体ウェーハの特性を正確に測定する高解像度イメージングセンサユニットを備えています。この機械はサブミクロンのサイズに材料の特徴を測定できます。さらに、このツールには高解像度のイメージングアセットが装備されているため、ウェーハの正確な立体的なビューを生成することができます。これにより、ユーザーはCritical Dimension （CD）を正確に測定できます。また、高速多軸ステージを採用し、ウェーハテストエリア全体を正確に撮影します。非接触測定用には、ウェーハの表面形状や欠陥特性を測定できる堅牢な非接触計測モジュールも装備しています。非接触計測モジュールは、ピット、転位、ステップカット、キャビティなど、幅広い欠陥タイプを識別することができます。また、高度なウェーハ検証ユニットを搭載し、ウェーハ試験結果の精度と信頼性を確保しています。ウェーハ検証機は、ウェーハの電気的および機械的テストの包括的なスイートを実行することができます。これらのテストには、半導体デバイスの特性評価、電気パラメータテスト、およびさまざまなインテグリティテストが含まれます。このツールは、テスト前にウェーハの完全性を検証する機能を備えています。TENCOR FX 100は、ウェーハテストの速度と精度を提供する自動ウェーハハンドリングアセットも備えています。このモデルは、ウェーハを迅速かつ確実にロードおよびアンロードすることができます。さらに、装置には最大50のレシピを保存できる自動レシピシステムがあり、オペレータはさまざまなテストパラメータの組み合わせを探索することができます。ユーザーの利便性を高めるために、FX 100ユニットにはWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）もあります。これにより、ユーザーは直感的なインターフェイスを使用して、マシンのさまざまなテスト操作にすばやくアクセスして制御することができます。また、GUIは自動化されたデータ分析ツールを提供し、テストの結果を迅速かつ正確に評価することができます。KLA/TENCOR FX 100は、業界をリードするウェーハテストおよび計測ツールで、革新的な技術と高度な機能を提供し、最も正確で正確な結果を保証します。高解像度イメージングアセット、非接触計測モジュール、ウェーハ検証、自動ウェーハハンドリング、自動レシピモデルにより、ウェーハテストと計測のための信頼性の高い堅牢な機器となっています。
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