中古 KLA / TENCOR FT-750 #9377280 を販売中

KLA/TENCOR FT-750 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、高度なウェーハ製造プロセスを検査および測定するための統合ハードウェアとソフトウェアの包括的なセットです。高度な計測技術と欠陥検査技術を1つのシステムに統合し、高精度で高スループットウェーハ試験と計測を実現します。KLA FT-750は、ビジョンベースの検査技術と自動非破壊検査を通じて、ウェーハ表面全体とインライン計測の自動検査を提供します。TENCOR FT 750は、高速スキャン機能と1台のユニットに複数のツールを搭載し、欠陥を迅速かつ正確に検査および特性評価することができます。また、KLA Advanced Inspection Technologies （AIT）は、各ツールの標準動作ソフトウェア（SOS）によるプラットフォームに依存しない欠陥検査と、TENCOR欠陥診断ツール（DDS）による欠陥診断を提供します。プラットフォームに依存しないAITテクノロジーは、SEMイメージに表示される機能と関連する欠陥トレンドの間のギャップを埋めるのに役立ちます。KLA FT 750は、ウェーハテストステーション、ウェーハメトロロジーステーション、スキャナーの3つのコンポーネントで構成されています。ウェーハテストステーションには、ウェーハの迅速な検査と測定を提供する強力なカメラ資産が装備されています。スキャナは、ウェーハをスキャンしてウェーハメトロロジーステーションに画像を転送する高速多軸マシンです。ウェーハメトロロジーステーションは、モデルの主要なワークホースであり、ウェーハ検査および計測技術を単一のプラットフォームに統合しています。ウェーハ検査には、光学検査ステーションと走査型電子顕微鏡（SEM）の2つのタスクと、4つの自動計測タスクが装備されています。自動メトロロジータスクには、抵抗測定、オーバーレイ測定、AFMイメージング、深度プロファイリングなどがあります。FT 750ウェーハテストおよび計測機器は、ウェーハテストと計測のための効率的なシステムを提供します。統合されたハードウェアとソフトウェアにより、ウェーハの迅速かつ正確な検査と測定を可能にし、最大限の歩留まりとプロセス制御を実現します。AIT技術、高速スキャン機能、複数のツールを備えたFT-750は、ウェーハ検査や計測に最適です。