中古 KLA / TENCOR FT-750 #9173658 を販売中

KLA/TENCOR FT-750は、次世代のウェハテストおよび計測機器です。半導体デバイス製造において、増え続けるスループットと精度の要件を満たすように設計されています。高度な光学、モーションコントロール、データ収集、分析機能を備えており、これらはすべて高度なシステムアーキテクチャによって監視および制御されています。このユニットは、強力なイメージングエンジンを使用して、卓越した明瞭さと解像度でサブミクロン画像を生成します。イメージングエンジンは、高解像度デジタルCCDカメラ、AutofocusTMレンズ、照明用の強化されたLED光源で構成されています。改善されたイメージングマシンは、以前のモデルの16倍の解像度までのイメージング機能を実現します。KLA FT-750は、膨大な種類の重要なデバイス特性を正確に測定する革新的な光学計測ツールを誇っています。統合された計測資産は、3次元ポイントスキャンと組み合わせた明るいフィールドと暗いフィールド画像システムの両方を利用して、ウェーハ全体で0。2ミクロンの小さい特徴を測定します。TENCOR FT 750のイメージングおよび計測機能は、堅牢なモーションコントロールモデルによって補完されます。この装置は、ウェーハの位置決めにおいてさらに精度を高めるための3段階の作動ステージで構成されています。さらに、画像を正確に測定に登録するために、高度なビジョンベースのアライメントシステムを採用しています。FT 750ユニットの内部データ収集および分析機能は、高度なアルゴリズムを使用して欠陥位置、サイズ、形状を特徴付けます。これらのアルゴリズムは、強力なデータベースツールと自動欠陥分類と組み合わせて、テスト結果を効率的に分析および報告します。このマシンは、他の半導体試験および計測機器との統合を目的として設計されており、効率的なデータ転送とレポート作成が可能です。TENCOR FT-750は、既製のソフトウェアツールを使用して、テスト結果やその他の分析タスクの報告を支援することもできます。全体的なFT-750は、革新的な機能を備えた高度なウェーハテストおよび計測ツールです。強力なイメージング、計測、モーションコントロール、データ収集/分析機能により、高精度で信頼性の高いウェーハ特性を提供します。この資産は、次世代半導体ウェーハ製造の厳しい要件を満たす機能を提供することができます。