中古 KLA / TENCOR FT-750 #9155149 を販売中
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ID: 9155149
Wafer thickness measurement system, 4"-6"
Voltage: 115 V
Measures:
Single
Multilayer films
410" - 800" Reflectivity range contour
Die
3D Mapping
COGNEX 3100-4MB
Vision system version: 1.20A
Olympus MS plan:
2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x
Auto focus: 1.5-5
Second measure time integrated
(2) Cassettes elevators
Wafer sorting capability
Integrated finder vacuum reset
Frequency: 50/60 Hz
Current: 1250 W.
KLA/TENCOR FT-750は、半導体ウェーハ、IC、コンポーネントを包括的に分析できる最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA FT-750は、リソグラフィ、ボンディング、成膜、エッチングなどのウェーハ製造プロセスを支援するために設計されており、正確で再現性のある結果を持つ幅広い重要なパラメータを迅速に測定および特性評価することができます。TENCOR FT 750システムは、光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡、その他の計測技術をオールインワンソリューションに組み合わせた先進的なプラットフォームに基づいています。自動化されたウェーハの負荷と位置決めを備えたこのユニットは、計測、イメージング、および3Dプロファイル測定に業界をリードするスループット、優れた精度、および再現性を提供します。さらに、表面粗さ、パーティクルカウント、欠陥密度、膜厚、重要寸法など、いくつかの主要なウェハーパラメータを測定することができます。KLA FT 750には、自動化されたウェハーマッピング、超精密Z軸、パワフルなPCベースの制御ツールなど、いくつかの重要なツールとコンポーネントが装備されています。さらに、CCDイメージングアセットは、高解像度の要素と高度なソフトウェアアルゴリズムで構築されており、迅速で正確で再現性のあるイメージングと分析が可能です。このモデルの直感的な制御装置により、オペレータは測定を迅速かつ効率的に設定、校正、および制御することができます。KLA/TENCOR FT 750は、さまざまなウエハテストアプリケーションで優れた品質結果を提供する堅牢で信頼性の高い正確なシステムです。精密なモーションコントロールのための超滑らかなウェーハ回転メカニズムと、3D再構築を可能にする欠陥および粒子特性評価のための独自のソフトウェアを備えています。自動化されたマッピング機能により、FT 750は1つのパスで多くの重要なパラメータを効率的に測定することができます。TENCOR FT-750は、KLAの有名なカスタマーサービスと、機械を最適な状態に保つために設計されたさまざまな技術およびトレーニングサポートによって支えられています。そのため、FT-750は幅広いウェーハテストアプリケーションに最適であり、信頼性と効率的な結果を提供し、エンジニアはプロセスの品質とパフォーマンスを最適化することができます。
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