中古 KLA / TENCOR FT-750 #293762497 を販売中

KLA/TENCOR FT-750 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、高度な半導体およびMEMSアプリケーションのニーズを満たすように設計された最先端のシステムです。基本的なデバイスやプロセス特性評価から、高度な接着、欠陥、およびウェハレベルの資格まで、さまざまな試験および測定を行うことができます。KLA FT-750は、精密な試験と計測のための高精度モーションステージを備えています。このステージは、クローズドループ制御ユニットを介して高精度に保たれ、ステージの動きを無限に監視し、最適な精度のためにその位置を更新します。また、さまざまなテスト場所やインストゥルメントパッケージを使用して、さまざまなアプリケーションに合わせて設定することもできます。TENCOR FT 750はまた、ウェーハおよび相関測定の試験を可能にするさまざまな独自の光学システムを備えています。それは長い作動距離、CCDのカメラおよびモーターを備えられたxおよびy段階の洗練されたテレセントリックな設計を使用します。この設定により、さまざまな条件下で高精度で再現可能であり、x、 y、 z軸でのサブミクロン分解能が可能です。また、独自の高度なイメージングアルゴリズムを使用して、ウェーハ表面の小さな欠陥とウェーハ境界を特定してマッピングします。KLA/TENCOR FT 750には、構成に応じてさまざまなデータを取得する機能もあります。これには、単一または複数のパラメータ、データのバイニング、およびリアルタイムまたはメモリに保存されたデータ表示が含まれます。また、データ取得のために特定の領域をプログラムすることができ、自動的に欠陥検出と検査を提供します。FT 750に容易な操作を可能にする適用範囲が広い制御システムがあります。さまざまな方法で動作するようにプログラムできるユーザーインターフェイスを備えており、カスタム定義、テストシーケンスの自動化、その場でのデータ分析が可能です。また、機械の簡単な追跡とメンテナンスを可能にする診断とサービスロガーの包括的なセットを含む優れたメンテナンス機能を備えています。全体として、KLA FT 750は高度で正確なツールであり、テストと計測の両方を実行できます。最先端の設計、独自の光学系、直感的な制御システムを組み合わせることで、多くの要求の厳しい半導体やMEMSアプリケーションに適しています。