中古 KLA / TENCOR FT-750 #293595756 を販売中

KLA/TENCOR FT-750 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体ウェーハの正確な測定を行うために設計された自動計測システムです。サンプルロードからデータ収集、分析まで、ユニットは完全に自動化されています。KLA FT-750は、非接触光学技術を利用して、デバイスのパフォーマンスを最適化するために不可欠な、特徴サイズとプロファイルの高精度の測定を提供します。TENCOR FT 750は、非常に高速なウェーハハンドリングマシンと140mmのウェーハ容量を備えた、高精度の鉛ねじ駆動自動ステージを備えています。これは、サンプル測定と画像キャプチャのニーズに対応するために、高倍率光学とデュアル低倍率光学の両方が装備されています。このツールの高度なオートフォーカスおよび画像処理アルゴリズムは、優れた画質と正確なデータを提供します。FT-750により、ユーザーはさまざまなウェーハテストパターンの自動測定、イメージング、分析を実行できます。これまでにない測定精度を提供し、ユーザーはウェーハプロセス全体を迅速かつ正確にマッピングできます。このアセットにより、4 秒/100umのスキャン時間を高速に測定し、4umまでの間隔をスキャンし、6。5mm/秒までのベクトル速度を実現し、優れた再現性と精度を維持します。KLA/TENCOR FT 750はまた、迅速で効率的なパターン認識とモデル校正を提供するKLA独自のSoftCount™ソフトウェアを含むさまざまな専門ソフトウェアを使用しています。さらに、この装置は、均一に繰り返される機能を正確に測定するための強力な画像解析パッケージであるNeoTestを備えています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーは手動でのやり取りや介入なしに正確で一貫した測定を行うことができます。全体として、TENCOR FT-750は高度なウェーハテストおよび計測システムであり、精度と再現性を備えた正確な測定を提供するように設計されています。その高度な光学技術と自動化されたサンプルハンドリングにより、これまで以上に高速で信頼性の高い測定が可能になります。業界標準の画像、データ、およびフォーマットファイルをサポートするKLA FT 750は、比類のない柔軟性を提供し、あらゆる種類のプロセスを迅速かつ正確に分析できます。