中古 KLA / TENCOR FT-750 #136435 を販売中

KLA / TENCOR FT-750
ID: 136435
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Film thickness measurement system, 8", 1994 vintage.
KLA/TENCOR FT-750は、ウェハチップセットの性能を評価するために使用されるウェハテストおよび計測機器です。このシステムには、集積回路(IC)の欠陥を検出および分析するために使用されるさまざまな高度なテストおよび計測コンポーネントが含まれています。KLA FT-750は、製造前および製造後のウェハチップセットの両方をテスト、測定、および検証するために使用できます。TENCOR FT 750は、ウェーハ表面を検査するための自動高解像度顕微鏡を備えており、目的を変更せずにサンプルの詳細をシームレスにズームインできます。また、6軸自動測位ユニットを搭載しているため、オペレータは高精度で微細な特徴を迅速かつ正確に測定および記録することができます。また、KLA/TENCOR FT 750は、ウェハサンプルから取得したテストデータを取得・保存する高速シリアルデータ取得機を備えています。このツールは高度に構成可能であり、さまざまなテストアプリケーションの要件を満たすために適応することができます。さらに、FT 750にはSMARTSortテクノロジーも含まれており、テスト中に検出された欠陥を分類およびソートするのに役立ちます。KLA FT 750には、収集したウェハサンプルデータを分析するための強力なソフトウェアツールも含まれています。これらのソフトウェアツールは、テストデータの自動および手動表示、統計解析、ダイポール解析、欠陥分類、故障検出をサポートします。収集されたデータの分析を通じて、エンジニアは潜在的な設計問題に対処し、ICの全体的な品質を向上させる際に情報に基づいた意思決定を行うことができます。FT-750は、ウェーハICの表面形状を正確に測定することを可能にする幅広い粗さ測定用にも設計されています。この資産は、バンプ構造やデッドレイヤーの厚さのルートフィールドを測定するのに適しています。また、ICの厚さや形態を確実に測定するために、軸外イメージングや電圧コントラスト手法を用いた光学・電気・原子力顕微鏡を用いた寸法測定機能を搭載しています。要するに、TENCOR FT-750は、集積回路の欠陥やその他の特性を検出および分析するために設計された包括的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動化された高精度の顕微鏡、高速シリアルデータ収集ユニット、SMARTSortテクノロジー、強力なソフトウェアツールを備えています。ウエハーの表面形状の正確な測定や、ルートフィールドやデッドレイヤーの厚さの測定に適しています。
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