中古 KLA / TENCOR FT-650 #139120 を販売中

KLA/TENCOR FT-650は、半導体デバイスの高速かつ正確な解析を提供することができる汎用性の高いウェーハ試験および計測システムです。ウェーハ基板の幅、高さ、表面形状、エッジ形状を最も複雑なディテールで測定するように設計されています。KLA FT-650は、ナノメートルレベルの高解像度イメージング機能を提供し、自動測定と最大精度の欠陥検出のためのいくつかの機能を搭載しています。TENCOR FT-650は、高速センサーと直感的で使いやすいユーザーインターフェイスを備えています。x寸法とy寸法の両方でウェーハ上の複数の部位を同時に測定することができます。これにより、ユーザーは同じ領域の複数の画像を取得して測定を取得したり、重要な線分の位置とプロファイルの高さを取得したり、サイドウォールの急さ、オーバーレイ、抵抗の厚さを測定したりすることができます。さらに、欠陥分類、分類配置、サイズ分布、統合された自動計測などの高度な検査機能を備えています。また、高速で信頼性が高く再現性のある結果を提供し、高精度で精度の高い1時間あたり数千のダイを分析します。また、オープン構造とクローズドマイクロ電気構造の両方を詳細に分析することができます。さらに、FT-650には、小さな欠陥を識別し、これらの欠陥の横方向および縦方向のビューを提供する、クロス相関などの高度なアルゴリズムが組み込まれています。さらに、汎用性の高いソフトウェアシステムを備えており、ユーザーは特定のアプリケーション要件に合わせてシステムをカスタマイズできます。また、外部インターフェース制御とすべてのフィールド測定の表示を同時に提供します。KLA/TENCOR FT-650は、要求の厳しいエンジニアリングおよび品質管理要件を満たすことができるため、半導体およびマイクロ電子メーカーにとっても理想的なソリューションです。他のウェーハテストシステムに代わる強力かつ経済的なシステムであり、信頼性の高い結果を提供し、メーカーは製品の品質に自信を持つことができます。