中古 KLA / TENCOR FT-600 #9376730 を販売中

KLA/TENCOR FT-600は、高度な半導体デバイスの測定に最適な信頼性と精度を提供するように設計された完全自動ウェーハ試験および計測装置です。最新の高解像度イメージングおよびコーティング技術を使用して、KLA FT-600は多種多様な計測目的に優れた性能を提供します。このシステムは、計測および電気・光学測定を行う統合サブシステム（IS）と、試験および計測に必要な高度なコーティング機能を提供する自動コーティングサブシステム（ACS）の2つの主要コンポーネントで構成されています。ISモジュールには、最大300mmのサイズのウェーハの高解像度画像を生成する40nm分解能イメージングモジュールが含まれています。高度なアルゴリズムを使用して、これらの画像を分析して、垂直寸法プロファイル、表面粗さ、欠陥のサイズと量などの重要なパラメータを測定します。このユニットには、オーム接触抵抗、ダイオードおよびMOSFETパラメータプロファイル、トランスコンダクタンス、およびその他のデバイスパラメータ値などの電気パラメータを測定できる電気および光学サブモジュールも含まれています。このサブモジュールには、スペクトル反射率や透過率などの光学特性を測定するためのスペクトル応答測定機も含まれています。ACSには、300mmまでのサンプルをコーティングする高度な磁気浮上モータ駆動コーティングユニットが含まれています。このコーティングユニットは、フォトレジストやその他のコンフォーマルコーティングなどの材料の滑らかで高精度なコーティングを提供し、さまざまなフォトリソグラフィやその他の湿式化学プロセスと完全に互換性があります。このユニットには、最適なコーティング性能を確保するために、環境および真空制御ツールが統合されています。さらに、TENCOR FT-600には、すべてのアセットコンポーネントを統合するための高度なソフトウェアスイートが含まれています。このソフトウェアスイートは、プロセスの自動化、歩留まりの最適化、データ取得と分析、レポート生成、およびその他の機能を提供します。FT-600は、最高水準の品質と信頼性を満たすように設計されており、さまざまな計測および生産アプリケーションに適しています。堅牢なソフトウェアスイートと組み合わせた高度なイメージングおよびコーティング性能により、半導体業界の厳しいニーズに最適なソリューションです。