中古 KLA / TENCOR FT-600 #9081978 を販売中

KLA/TENCOR FT-600は、マイクロエレクトロニクス製造に使用するために設計されたウェハテストおよび計測機器です。電気特性、光学特性、化学特性、熱特性など、幅広いウエハ特性を測定・解析するための高度な機能を提供します。このシステムは、プロセス制御要件とアプリケーション固有のニーズを満たすように構成可能です。多種多様な材料からのウェーハの高速、正確、再現可能な測定を実現し、多様な集積回路を迅速に特徴付けるように設計されています。このユニットは、ナノメートルレベルの解像度でウェーハを撮影するための高速ナオカムカメラのスイートを備えています。イメージングマシンは、ウェーハの電気特性を測定し、スペックを満たしているかどうかを判断することができます。3次元欠陥検出用の色補正ツールとCCDアレイが含まれています。アセットは高度に自動化されており、何百ものテストイメージを正確に解釈することができ、ユーザーからの入力を最小限に抑えて有用な生産情報を提供します。KLA FT-600には、単一のプロセスステーションで実行される複数のテストから統合された結果を提供できる堅牢なデータ処理モデルも含まれています。インピーダンスと静電容量の両方の測定を利用して、詳細なプロセス分析を行うことができます。この装置のオンボード解析ソフトウェアは、特定のマスクとテスト結果を迅速に相関させることができ、プロセスの最適化を容易にします。薄膜を測定するためのオンボード質量分析計や赤外線温度センサーなど、さまざまな化学および熱計測オプションが用意されています。全体的に、TENCOR FT-600は、より高い精度と測定結果の再現性を必要とする電子デバイスの製造に理想的な選択肢です。ウェハテストと計測機能の包括的なセットを提供し、半導体、太陽光発電、およびオプトエレクトロニクスのメーカーがより効率的で信頼性の高い製品を作成するのを支援します。