中古 KLA / TENCOR FT-500 #9214047 を販売中

KLA/TENCOR FT-500は、インライン欠陥レビュー、高スループット、高解像度イメージングなどの高度な機能を提供する高度なウェーハ検査および計測システムです。具体的には、KLA FT-500ではウェーハアライナーを合計500個提供しており、1ステーションあたり1時間に最大8個のウェーハを使用でき、12インチ、8インチ、6インチのウェーハを収容できます。統合された光学およびLEDによって、それは1。6umおよび500mmの最高視野までイメージの決断を発生できます。TENCOR FT-500には、自動欠陥レビュー（ADR）システムが装備されており、インライン自動欠陥レビューを可能にし、CD、ラインエッジの粗さ、その他のローカルまたはグローバルパラメータなどの推測パラメータを視覚的に表示します。さらに、CD測定のための様々な光学技術にも対応し、ウェーハ間のM1（レイヤーまたは測定）マッチングを同時に可能にします。照明に関しては、FT-500は高解像度のブライトフィールド、ダークフィールド、バックライト、エピイルミネーションなどの高度な照明オプションと、さまざまなLEDとフィルタオプションを使用して、任意の可変ウェハパターンをキャプチャします。さらに、自動ビームプロファイラとスキャンパラメータ調整により、ビーム条件を制御し、均一なスキャンを得ることができます。画像解析および強化に関しては、KLA/TENCOR FT-500は、自動フィーチャー検索、画像シャープニング、画像セグメンテーション、自動フィーチャー分類などの高度な機能を備えています。また、画像認識精度を向上させるための測定グラフィックやツールなどの画像測定ツールも含まれています。スループットの面では、KLA FT-500はバッチモードで実行する場合、1時間あたり最大1000ウェハを実行できますが、スキャンモードでは1時間あたり最大20ウェハを処理できます。スループット性能をさらに最適化するために、自動欠陥検出機能も備えており、セットアップ時間の短縮に役立ちます。最後に、TENCOR FT-500には、便利なセットアップとメンテナンスのための幅広いアクセサリーとコンポーネントが付属しています。全体的に、FT-500検査および計測システムは、ウェーハ検査および計測に最高レベルの精度とスループットを提供します。高度な照明、画像解析、測定ツールにより、歩留まりを改善し、コストを削減するように設計されています。