中古 KLA / TENCOR FT-500 #139119 を販売中

ID: 139119
Film thickness system.
KLA/TENCOR FT-500は、最先端のウェーハ試験および計測機器であり、高度な計測技術と自動化された試験技術と効果的なデータ管理機能を組み合わせています。このシステムは、高精度、高速サイクルタイム、高度なユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーが効率的かつ効果的に作業できるようにします。KLA FT-500は、リアルタイムの全自動テストを使用して、膜厚、ドーピング濃度、フィルム応力など、さまざまなパラメータを測定できます。これは、高い再現性と精度で行われ、最適なプロセス制御とプロセス能力監視を可能にします。テストプロセス中に測定された測定値をリアルタイムで分析することで、プロセスのパフォーマンスと製品品質をフィードバックし、生産稼働が仕様内にあることを保証します。また、ハイスループットアプリケーション向けに設計されたウエハハンドリングマシンを内蔵しています。ロボットアームを使用して、テストサイトとデータ分析ステーション間でウェーハを輸送し、生産性を向上させ、手動作業にかかる時間を短縮します。正確な測定を保証するために、このツールは、欠陥を特定し、特徴寸法を計算し、テストサイトの正確な位置合わせを確実にするための高度な画像処理技術を備えています。このアセットには、自動テストパラメータ制御、プロトコルデータ管理、およびさまざまなグラフおよび統計分析機能を提供する統合制御ソフトウェアも含まれており、ユーザーはテスト結果をすばやく解釈し、情報に基づいた意思決定を行うことができます。TENCOR FT-500は、ラボ環境と生産環境の両方での使用に理想的であり、ウェーハ試験および計測アプリケーションに非常に信頼性が高く費用対効果の高いソリューションを提供します。高度な機能により、ウェーハの歩留まりを改善し、生産稼働時間を最大化するように設計されています。
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