中古 KLA / TENCOR FOUP Handler for SP1 / F5X / Spectra FX #9240599 を販売中

KLA/TENCOR FOUP Handler for SP1/ F5X/Spectra FXは、最新のウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、ウェーハ、基板、その他の材料のインラインテストと計測を高度なレベルで効率的に実行します。KLA FOUP Handlerは、シリコン、液晶ディスプレイ（LCD）、薄膜トランジスタ（TFT）ディスプレイ、不揮発性メモリ（NVM）などの感光材料およびその他のウェーハを高速かつ信頼性の高い解析用に設計されています。半導体メーカーの要求に応える精密ステージ、モーション、ビジョン、イメージングを備えた自動ソフトウェアとハードウェアの本格的なスイートです。KLA FOUP Handler for SP1/ F5X/Spectra FXユニットは、高度な独自の光学技術を使用して、物理的な接触なしでウェーハを正確に分析し、敏感なメディアへの損傷を最小限に抑えます。エンベデッドオプティカルセンサは、さまざまなサイズと厚さのウェーハを検出して追跡し、熱硬化型アクティブオプティクスを使用して正確な角度測定を行います。これにより、より高いフレームレートで正確な測定が可能になり、これまでにない計測性能をもたらします。TENCOR FOUP Handlerは、業界標準のE10/11または同等のEN/IEC 61215に準拠した総合検査ソリューションも提供しています。内蔵の4Mピクセル、ウェーハの4K解像度イメージングにより、エッジ欠陥、ブリッジ欠陥、ラウンド欠陥、スカムサークル、傷、バンプ、ボイド、およびその他の汚染物質を含む迅速かつ信頼性の高い欠陥検出が可能です。イメージングマシンはさらに、内蔵のパターン認識およびガードバンド自動検出機能と統合して、グレー欠陥、色欠陥、しわ欠陥の存在を評価します。KLA/TENCOR FOUP Handlerの組み込み信号処理機能により、材料特性をさらに把握できます。FOUP Handlerには、重要な薄膜/厚膜測定、色、テクスチャ、複製、表面カバレッジ、焦点深度、平坦度、テクスチャ、転位、パターン解像度、ウェーハ平坦度、材料特性、画像コントラスト、ダイサイズ精度、およびオリエンテーションのための標準的なアルゴリズムと計測操作が含まれます。さらに、KLAインテリジェント監視および欠陥制御ツールにより、ウェーハ間での自動計測が可能になり、リアルタイムのデータ出力により、製品のパフォーマンスとプロセスパラメータを評価できます。SP1/ F5X/Spectra FX用TENCOR FOUP Handlerは、ウェーハやその他の敏感基板の精密アリメントおよび計測用に設計された、効率的で信頼性の高い堅牢なツールです。迅速な検査とモニタリングを可能にし、ユーザーは迅速な意思決定と製品分析を行うことができます。その結果、TENCOR FOUP Handlerは、ウェーハテストと計測に特化した商業施設または研究施設の不可欠な部分です。