中古 KLA / TENCOR FLX-5500 #293767103 を販売中

KLA/TENCOR FLX-5500は、ウェーハ性能を正確に測定できるウェーハテストおよび計測システムです。検査、計測、データ収集機能を組み合わせた統合ツール群で、半導体ウェーハの品質を正確に分析および評価します。KLA FLX-5500は、プロセスを通した光学計測とレーザー支援による自動表面検査を提供しており、ウェハの表面および下面の特徴をナノメートル分解能で正確に測定することができます。さらに、ユーザーが選択可能なウェーハローディングと、お客様のアプリケーションにカスタマイズできる処理構造を含む柔軟な設計を備えています。TENCOR FLX 5500が提供する統合検査および計測機能は、ウェーハ処理前後のウェーハ性能を評価するために使用されます。このシステムの統合されたイメージング、表面およびラインプロファイルスキャン機能により、表面欠陥検査、地形測定、抵抗測定、光学ダイダイ測定、欠陥とデバイス性能の相関など、さまざまな半導体プロセス工程の完全なウェハ特性評価に最適です。さらに、KLA/TENCOR FLX 5500には、ウェーハのパフォーマンスを正確に評価するツールをユーザーに提供する高度なソフトウェアアルゴリズムも含まれています。これらのアルゴリズムには、欠陥認識アルゴリズムや洗練された物理特性評価アルゴリズムが含まれており、高解像度の欠陥データを生成して分析を簡略化することができます。統合されたウェーハリフティングステーションにより、ウェーハの積み降ろしが容易になり、スループット時間と生産性が大幅に向上します。全体として、FLX 5500は半導体ウェハテストと計測のための完全なソリューションです。統合されたインテリジェントソフトウェアアルゴリズム、高解像度イメージング機能、汎用性の高いウェハハンドリングとローディング、および費用対効果の高い設計により、FLX-5500は半導体ウェハメーカーにとって不可欠なツールです。