中古 KLA / TENCOR FLX-5500 #138548 を販売中

KLA/TENCOR FLX-5500は、ハイスループット統合解析ソリューションを提供し、さまざまなウェーハ特性を検査および監視するために設計された先進的なウェーハ試験および計測機器です。KLA FLX-5500は、フロントエンドのウェハテストとバックエンドのウェハメトロロジー操作の両方が可能であり、フォトニクス、MEMS、先進的なモバイル半導体など多くのアプリケーションに対応する汎用性の高いプラットフォームです。TENCOR FLX 5500には、ユーザーインターフェイス/PDU（プログラマブルデジタルユニット）と、光学検査、欠陥分析、その他の測定、その他の測定などの操作を行うための統合された光学およびRFコンポーネントを備えたウェーハメトロジーシステム（WMS）があります。UI/PDUは、ユーザーがユニットを操作するための簡単で直感的な方法を提供します。レシピの選択、マシンのセットアップ、スキャン制御、パラメータ設定、データレビューなどの制御機能にすばやくアクセスできます。ユーザーインターフェイスは、リアルタイムのパフォーマンスデータのモデリングも可能で、複数の視点からデータを表示して意思決定を迅速に行うことができます。WMSは、ウェーハ特性を検査・測定するための高性能光学およびRF計測ツールを誇っています。このツールは、クラックや不純物などの発光粒子を識別および測定するためのフルスペクトラムイメージングスペクトログラフ、特徴シャープネスをチェックする自動焦点イメージングアセット、ウェーハの表面を監視する自動物理マッピングモデル、および表面平坦性を正確に測定するための統合されたダイヤモンドターニング装置を含む複数のコンポーネントを統合します。さらに、KLA FLX 5500には、自動テスト、欠陥の水分補給、プロセス制御の最適化、完全なハードウェア監視、堅牢なデータセキュリティなどの高度な機能を備えた強力なソフトウェアスイートも含まれています。このソフトウェアは、システムの自動テスト機能を最大化するように設計されており、各ウェハが品質管理とプロセス最適化のために一貫してテストされるようにしています。FLX 5500は、あらゆるタイプのウェーハの品質と性能をテストおよび監視するために必要なすべてを提供する、コンパクトで強力なウェーハテストおよび計測ユニットです。直感的なユーザーインターフェイス、強力な自動テスト機能、および統合された光学およびRFコンポーネントにより、FLX-5500は正確で信頼性が高く、費用対効果の高い結果をもたらします。