中古 KLA / TENCOR FLX-5400 #9031780 を販売中

KLA/TENCOR FLX-5400は、最高の精度と再現性を備えた、最も複雑なウェーハ試験および計測タスクを実行するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、5nmアプリケーションを含む高度なノードに最適です。KLA FLX-5400は、光学およびデジタルイメージング、物理測定、高度なプロセス分析機能を組み合わせて、高精度で信頼性の高い計測およびウェーハ試験結果を提供します。このユニットはEmerge™ 5000 Advanced Metrology Platformと統合されており、アプリケーション要件に基づいて最適な計測ソリューションを選択することができます。このプラットフォームには、迅速な欠陥レビュー、トラック分析、特性評価などの高性能プロセス分析ツールが含まれており、すべてが超低検出しきい値と前例のない空間分解能を備えています。このツールのAutomation and Roboticsテクノロジーにより、大量の反復計測およびウェーハテストタスクの費用対効果の高いオートメーションが可能になり、高い反復性と信頼性の高い結果が得られます。このアセットには高精度のダイナミックフォーカスコントロールが組み込まれており、連続的な高速適応フォーカスと画像取得が可能です。また、適応型光学およびデジタルイメージング技術の選択、多目的欠陥イメージングおよび解析のための統合AFM/SPM機能も含まれています。物理測定では、Eddy-Current Critical Dimension、 Focus/Defocus、 etch-depth、 layer/film thickness metrologyなどの世界をリードする測定ツールと統合されています。TENCOR FLX 5400は、プロセス故障検出および解析のための強力なツールボックスを提供します。これには、ウェーハおよび/またはダイのSEM画像が含まれ、高速微細故障診断、リアルタイムデータ分析、プロセスおよび製品メトリクスとテスト結果の相関、および自動故障検出および分類のための統計的プロセス制御が含まれます。最後に、この機器には、データおよびテスト結果を上流および下流の統合パートナーと正確かつ自信を持って共有できるように、幅広い高度なレポートおよびデータエクスポートオプションが付属しています。ユーザーは、データへの安全で詳細なアクセスのためのロールベースのアクセス制御など、さまざまなレポート作成オプションを簡単に設定できます。この最先端のウェーハテストと計測システムは、高度なノードなどの究極の診断ツールです。