中古 KLA / TENCOR FLX-5400 #293830700 を販売中

KLA / TENCOR FLX-5400
ID: 293830700
ウェーハサイズ: 8"
Thin film stress measurement system, 8".
KLA/TENCOR FLX-5400 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体ウェーハに自動テストおよび計測機能を提供する先進技術です。KLA FLX-5400は、共焦点顕微鏡、ガウス・スキャン、フーリエ変換赤外分光、X線マッピングなどの高度なイメージング技術を利用して、ウェーハ上の小さな特徴を検出します。ウェーハの物理的・電気的特性を高精度に測定することができます。その機能には、計測、欠陥検査、粒子分析、電気試験などがあります。TENCOR FLX 5400の主な特徴は、トレンチ、ビア、高アスペクト比などの複雑なウェーハ機能の高分解能測定機能です。このユニットは、ボイド、パーティクル、クラックなどの欠陥を検出することで、ウェーハの欠陥を検出することができます。それはまた正確な正確さの特徴の厚さそして絶縁定数を測定できます。KLA/TENCOR FLX 5400はまた、画像を分析し、ウェーハ表面の数学モデルを生成する強力な能力を持っています。この解析には、エッジ検出器、シェイプジェネレータ、組成分析器などの複数のテスターの組み合わせが含まれます。この分析により、ウェーハ表面の品質と欠陥の性質を測定することができます。FLX 5400には、ウェーハテストと計測の結果を保存するための堅牢なデータ管理ツールがあります。データは、内部ハードドライブまたは外部ネットワークドライブに保存できます。アセットにはグラフィカルユーザーインターフェイスもあり、テスト結果を簡単に解釈できる形式で表示します。グラフィカルユーザーインターフェイスは、複雑なデータ管理モデルをナビゲートするためにも使用されます。さらに、KLA FLX 5400は、VLSI、 SCMO、 SAMEなどの業界標準に準拠しています。これにより、ウェーハの製造や部品の特性評価など、多くのアプリケーションでの使用に適しています。また、機器は容易にアップグレードできるように設計されており、業界の変化するニーズに対応し続けることができます。全体として、TENCOR FLX-5400は、優れた精度、信頼性、スケーラビリティを提供する高度なウェーハテストおよび計測システムです。ウェーハ上の小さな特徴と欠陥を検出し、物理的および電気的特性を測定し、画像を分析し、数学モデルを生成することができます。堅牢なデータ管理と業界標準のコンプライアンスにより、ウェーハの製造、テスト、特性評価に最適なソリューションです。
まだレビューはありません