中古 KLA / TENCOR FLX-5400 #293648854 を販売中

KLA/TENCOR FLX-5400は、ナノスケールでの精度と高いスループット性能を提供する最先端のウェーハ試験および計測機器です。フォトマスクやフラットパネルディスプレイなど、浮遊基板の粒子や欠陥を効果的に識別します。このシステムは、より小さな測定サイクルでテストするように設計されており、従来のユニットよりも50X速く欠陥を識別することができます。KLA FLX-5400は、高度な高解像度イメージング技術を使用して、基板上の粒子や欠陥の発生しやすい領域を測定します。自動化された粒子検出アルゴリズムを使用して、サイズ、形状、位置を決定するために、これらの領域を識別してオートフォーカスします。さらに、このマシンには、個々のウェーハ測定を追跡およびレポートするための強力な分析機能が含まれています。このツールは、ウェーハ上の粒子を正確に識別するために、光学技術と音響技術を組み合わせて使用します。高度なアルゴリズムを備えたセンサアレイを組み込んで、0。1ミクロン以下の粒子を検出します。また、トップダウンスキャンなどの光学計測技術を使用して、粒子を正確に識別します。シリコン、ガラス、金属など幅広い素材の粒子を測定することができます。これは、大量のウェーハ製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計されています。基板の地形変化に合わせた精密なオートフォーカス機能を搭載しています。この機能は、粒子の測定時間を短縮し、スループットを向上させるのに役立ちます。このシステムは、クラス1のクリーンルーム環境で24時間年中無休で動作するように設計されています。TENCOR FLX 5400は、生産設備に簡単に統合できる、ウェーハテストおよび計測ニーズ向けの費用対効果の高いソリューションです。それは1時間あたりの何百もの基質をテストすることができます。さらに、このユニットは、パフォーマンスと歩留まりを最適化するために設計された包括的なソフトウェア、ハードウェア、およびサービスによってサポートされています。機械はカスタマイズの選択を提供する選択および付属品と改善可能です。