中古 KLA / TENCOR FLX-5400 #293623331 を販売中

KLA/TENCOR FLX-5400は、次世代のウェーハテストおよび計測システムを表します。この多目的な、高性能装置は生産およびR&Dの適用にとって理想的です。200mmから450mmまでの幅広いウェーハ構造の同時試験が可能です。業界最高水準の生産能力を有しており、自動処分フィードバックループや統合欠陥レビューメカニズムなど、最新の計測方法をサポートすることができます。KLA FLX-5400は多くの革新的なデザイン機能を備えています。このシステムは、3次元アライメントとウェーハ処理を可能にするために、最大9度の自由度を移動できるスタンドアロンのロボットマニピュレータを使用しています。照明ユニットは、可変性を最小限に抑えるために複数のLEDソースを実装していますが、独自の最適化アルゴリズムにより、視野全体に均一な画像を保持します。これは、正確な測定結果を確保するのに役立ちます。また、KLAの高度なマルチスペクトルストロベッドイメージング技術を使用しています。この技術は、3つのキャリブレーションされたカメラを使用して、各ウェーハ層のスペクトル情報と角度情報の両方をキャプチャします。強力なプロセッサは、このマルチスペクトルデータを単一の測定チャネルに統合します。これにより、表面形状、アクティブ領域、近接度、エッジなどのウェーハ機能を迅速かつ正確に測定できます。欠陥特性評価のために、TENCOR FLX 5400には多くの高度なツールとアルゴリズムが含まれています。このツールは、さまざまな検出、分類、分析アルゴリズムをすばやく設定できるAuto-Ready技術を使用しています。これには、プロセスモニタリング、疾患分析、応力およびひずみ解析、光学顕微鏡などの機能が含まれます。KLA/TENCOR FLX 5400は堅牢なソフトウェアパッケージを備えており、各測定結果を分析および報告するために必要なすべてのツールを提供します。これには、データフィルタリング、統計、レポート、傾向分析および相関のためのツールが含まれます。さらに、この資産にはSmartDefects Plusが組み込まれているため、欠陥の検出と分離が容易になり、是正措置が適用されます。さらに、KLA FLX 5400は幅広いアプリケーションの柔軟性を誇っています。ユーザーは、追加のセットアップが必要な構造的に複雑な基板にも対応して、任意のタイプのウェーハ構造を処理するようにモデルを構成することができます。また、シングルウエハとカセットツーカセットの両方の構成で動作するため、さまざまな生産プロセスに適しています。全体として、TENCOR FLX-5400は高度な装置であり、高精度の計測と欠陥解析が可能です。このシステムは、無数の生産レベルのウェーハテストおよび計測アプリケーションに非常に適しており、現在および次世代のウェーハテストのニーズに多くの利点を提供します。