中古 KLA / TENCOR FLX-5400 #10547 を販売中

KLA/TENCOR FLX-5400は、最先端のウェーハ検査および分析を提供するように設計された先進的なウェーハ試験装置です。このシステムは、高度な光学顕微鏡と画像処理技術を利用して、完成したウェハの全表面領域を高精度かつ精度で検査します。次に、検査ソフトウェアを使用して、欠陥や微小欠陥を検出し、一貫性を評価し、ウェーハ上の関心のある機能を評価します。KLA FLX-5400に組み込まれた光学顕微鏡は、高倍率レンズと独自の光学設計を採用し、高い検査解像度を確保しています。レンズは最大1000X倍の拡大が可能で、5um程度の微生物を検出することができます。また、顕微鏡から生成された画像データは、2次元と3次元の両方の画像解析技術を利用して欠陥を検出し、特徴サイズを測定し、時間をかけて画像を比較し、ウェーハの表面に変化がないかを調べる専用ソフトウェアによって処理されます。TENCOR FLX 5400には、検査用のウェハサンプルの簡単なセットアップと取得を可能にする自動ローディングおよびハンドリングマシンも含まれています。このロードアンドハンドリングツールにより、さまざまな機能FLX-5400備えた異なるウエハを簡単に切り替えることができ、各サンプルを迅速かつ効率的に分析することができます。TENCOR FLX-5400は、高度な光学検査技術と組み合わせて、表面欠陥の識別、分類、定量化を行う自動欠陥評価機能も備えています。この自動解析により、製造メーカーはウェーハサンプルの品質を迅速かつ正確に評価することができ、生産とプロセス管理に関する情報に基づいた意思決定を行うことができます。FLX 5400は、ウェーハテストおよび分析要件に対する包括的なソリューションを提供する強力で汎用性の高い資産です。自動化された検査と手動検査の両方を提供することで、幅広い材料と構造のための最高品質の基準を確保することができます。この機能の組み合わせにより、KLA/TENCOR FLX 5400は、生産プロセスの最適化を検討しているウェーハメーカーにとって理想的な選択肢となります。