中古 KLA / TENCOR FLX-2908 #9385708 を販売中

KLA/TENCOR FLX-2908は、高度なウェハレベルの欠陥検査用に特別に設計されたウェハテストおよび計測機器です。高速と高解像度の組み合わせを1つのシステムで提供し、前払いのコストと経費を低く抑えます。このユニットは、特定のウェーハ上で多数のダイを検査することができ、臨界寸法（CD）と電気測定パラメータ（E&Sパラメータ）の両方を同時に測定することができます。さらに、本機には複数の製品のオンボード測定ツールが組み込まれており、ウェーハ全体で複数のフィーチャータイプ（攻撃的なフィーチャーやパラメータ集約型を含む）を自動的に測定することができます。KLA FLX-2908は、必要なパラメータを最大5 µmのCD/XP解像度で検査および測定します。高度なイメージング、パターンマッチング、3D高さプロファイル測定アルゴリズムを実装し、測定速度を犠牲にすることなく微妙な欠陥を検出します。このアセットには、光学CD/XP測定、2Dトポロジカル機能測定、およびその他の計測技術など、さまざまなオンボード計測技術が含まれています。また、欠陥および汚染検出に焦点を当てた統合された高倍率検査モデルも含まれています。この装置はまた光学欠陥の点検のような未来の点検プラットホームを、収容できます。TENCOR FLX 2908は優れたCD/XP測定、比類のない精度、高い信頼性を備えています。ハイブリッドメトロロジーシステムは、広範な測定範囲、柔軟な検査機能、高スループットを備えています。さらに、自動校正プロセスを提供し、頻繁かつ正確な計測を可能にします。このユニットには、SPC機能の強化、インチダイ測定の再現性の向上、自動化されたデータ保存/復元マシンも含まれています。このツールは、ロボット工学を内蔵した小型フォームファクタを備えており、小型クリーンルームでも使用できます。この設計により、ロボット輸送を使用してウェーハやコンポーネントを前後に移動させ、迅速かつ簡単な検査/計測を行うことができます。最後に、TENCOR FLX-2908には高度な統計プロセス制御（SPC）ソフトウェアが組み込まれており、データの収集、分析、レポート作成を支援し、一貫性のある品質を保証します。